CVD ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) لیپت سسپٹر

کلیدی خصوصیات

درخواستیں

عام ایپلی کیشنز میں شامل ہیں:

• SiC ایپیٹیکسیل گروتھ

• GaN MOCVD Epitaxy

• AlN ایپیٹیکسیل گروتھ

• تیسری نسل کے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ

• ہائی پاور الیکٹرانکس

• آر ایف ڈیوائسز

• مائیکرو ایل ای ڈی کی پیداوار

• تحقیق اور پائلٹ پروڈکشن سسٹم

ہم آہنگ سامان

ہم آہنگ پلیٹ فارمز میں شامل ہیں:

• ایکسٹرون

• ایل پی ای

• Veeco

• AMEC

• نیو فلیئر

• حسب ضرورت CVD اور MOCVD ری ایکٹر

بھی دستیاب ہے:

• ویفر کیریئرز

• سیاروں کے متاثر کن

• بیرل Susceptors

• گردش ڈسک

• آدھے چاند کے حصے

• کور پلیٹیں۔

• گریفائٹ اسمبلیاں

• حسب ضرورت تھرمل فیلڈ اجزاء

تکنیکی وضاحتیں

اکثر پوچھے گئے سوالات

1. CVD TaC Coated Susceptor کیا ہے؟

ایک اعلی پاکیزگی والا گریفائٹ جزو جو ایک گھنے CVD TaC کوٹنگ کے ذریعہ محفوظ ہے جو epitaxial نمو کے دوران ویفر کیریئر کے طور پر استعمال ہوتا ہے۔

2. TaC coa کیوں استعمال کریں۔SiC کوٹنگ کے بجائے ٹنگ؟

TaC اعلی درجہ حرارت کی مزاحمت، اعلی کیمیائی استحکام، اور طویل سروس کی زندگی پیش کرتا ہے۔

3.کون سا سیمی کنڈکٹر عمل TaC-c استعمال کرتا ہے۔oated susceptors؟

SiC epitaxy، GaN MOCVD، AlN epitaxy، اور دیگر اعلی درجہ حرارت کے کرسٹل نمو کے عمل۔

4. کیا VETEK اپنی مرضی کے مطابق susceptors تیار کر سکتا ہے؟

جی ہاں ہم کسٹمر ڈرائنگ اور عمل کی ضروریات پر مبنی اپنی مرضی کے مطابق ڈیزائن فراہم کرتے ہیں۔

5. کون سے ری ایکٹر برانڈز کی حمایت کی جاتی ہے؟

Aixtron، LPE، Veeco، AMEC، NuFlare، اور دیگر مرکزی دھارے کے نظام۔