ہائی پیوریٹی CVD SiC لیپت ویفر بوٹ

1. بنیادی کارکردگی کے عوامل؟

• 7N سطح پر پاکیزگی:ہم 99.99999% (7N) طہارت کا معیار برقرار رکھتے ہیں۔ طویل ڈرائیو ان یا آکسیڈیشن کے مراحل کے دوران دھاتی آلودگیوں کو ویفر میں منتقل ہونے سے روکنے کے لیے یہ بات چیت کے قابل نہیں ہے۔
• CVD مہر (50–300μm):ہم صرف سطح کو "پینٹ" نہیں کرتے ہیں۔ ہماری 50–300μm CVD SiC پرت سبسٹریٹ پر کل مہر بناتی ہے۔ اس سے پورسٹی ختم ہو جاتی ہے، یعنی کشتی رد عمل والی گیسوں کے بار بار نمائش یا جارحانہ SPM/DHF صفائی کے بعد بھی کیمیکلز کو نہیں پھنسائے گی اور نہ ہی ذرات کو بہائے گی۔
• تھرمل سختی:سلکان کاربائیڈ کی قدرتی کم تھرمل توسیع ان کشتیوں کو سیدھی رکھتی ہے۔ وہ ریپڈ تھرمل اینیلنگ (آر ٹی اے) کے دوران نہیں جھکیں گے اور نہ ہی مڑیں گے، اس بات کو یقینی بناتے ہوئے کہ روبوٹ کا بازو ہمیشہ بغیر جیم کیے صحیح سلاٹ سے ٹکرائے۔
• پائیدار پیداوار:سطح کو کم ضمنی پروڈکٹ آسنجن کے لئے انجینئر کیا گیا ہے۔ کم جمع ہونے کا مطلب ہے کہ کم ذرات آپ کے ویفرز کو مارتے ہیں اور گیلے بینچ کی صفائی کے چکروں کے درمیان زیادہ دوڑتے ہیں۔
• حسب ضرورت جیومیٹری:ہر فیب کا اپنا سیٹ اپ ہوتا ہے۔ ہم ان کو آپ کی مخصوص پچ اور سلاٹ ڈرائنگ پر مشین بناتے ہیں، چاہے آپ افقی فرنس چلا رہے ہوں یا عمودی 300mm خودکار لائن۔

2. عمل کی مطابقت

• ماحول:TMGa، AsH₃، اور اعلی حراستی O₂ ماحول کے خلاف مزاحم۔
• تھرمل رینج:1400 ° C تک مستحکم طویل مدتی آپریشن۔
• مواد:منطق، پاور، اور اینالاگ ویفرز کے آکسیکرن اور بازی کے عمل کے لیے خاص طور پر انجنیئر۔