ویفر ڈائسنگ کے عمل کے دوران CO₂ کیوں متعارف کرایا جاتا ہے؟

دوران کے دوران ڈائسنگ پانی میں Co₂ کو متعارف کراناوافرجامد چارج کی تعمیر اور کم آلودگی کے خطرے کو دبانے کے لئے کاٹنے کا عمل ایک موثر عمل ہے ، اس طرح ڈائسنگ کی پیداوار اور طویل مدتی چپ وشوسنییتا میں بہتری آتی ہے۔

1. جامد چارج بلڈ اپ کو دبانے

کے دورانوافر ڈائسنگ، ایک تیز رفتار گھومنے والا ہیرے کا بلیڈ کاٹنے ، ٹھنڈک اور صفائی ستھرائی کے ل high ہائی پریشر ڈیونائزڈ (ڈی آئی) واٹر جیٹ طیاروں کے ساتھ مل کر کام کرتا ہے۔ بلیڈ اور ویفر کے مابین شدید رگڑ مستحکم چارج کی ایک بڑی مقدار پیدا کرتا ہے۔ ایک ہی وقت میں ، ڈی آئی پانی تیز رفتار چھڑکنے اور اثر کے تحت معمولی آئنائزیشن سے گزرتا ہے ، جس سے بہت کم تعداد میں آئنوں کی پیداوار ہوتی ہے۔ چونکہ خود سلیکن چارج جمع کرنے کا رجحان رکھتا ہے ، اگر وقت کے ساتھ اس معاوضے کو خارج نہیں کیا جاتا ہے تو ، وولٹیج 500 V یا اس سے زیادہ تک بڑھ سکتی ہے اور الیکٹرو اسٹاٹک ڈسچارج (ESD) کو ٹرگر کرتی ہے۔

ESD نہ صرف دھات کے باہمی ربط کو توڑ سکتا ہے یا انٹرلیئر ڈائی الیکٹرک کو نقصان پہنچا سکتا ہے ، بلکہ سلیکن کی دھول بھی الیکٹرو اسٹاٹک کشش کے ذریعہ ویفر سطح پر قائم رہنے کا سبب بنتا ہے ، جس کی وجہ سے ذرہ نقائص ہوتے ہیں۔ زیادہ سنگین صورتوں میں ، یہ بانڈ پیڈ کے مسائل کا سبب بن سکتا ہے جیسے ناقص تار بانڈنگ یا بانڈ لفٹ آف۔

جب کاربن ڈائی آکسائیڈ (CO₂) پانی میں گھل جاتا ہے تو ، یہ کاربنک ایسڈ (H₂CO₃) تشکیل دیتا ہے ، جو ہائیڈروجن آئنوں (H⁺) اور بائک کاربونیٹ آئنوں (HCO₃⁻) میں مزید جدا ہوتا ہے۔ اس سے ڈائسنگ واٹر کی چالکتا کو نمایاں طور پر بڑھایا جاتا ہے اور اس کی مزاحمیت کو کم کیا جاتا ہے۔ اعلی چالکتا سے پانی کے بہاؤ کے ذریعے زمین تک مستحکم چارج کو جلدی سے دور کرنے کی اجازت ملتی ہے ، جس کی وجہ سے ویفر یا سامان کی سطحوں پر چارج جمع کرنا مشکل ہوجاتا ہے۔

اس کے علاوہ ، CO₂ ایک کمزور الیکٹرونگیٹیو گیس ہے۔ اعلی توانائی کے ماحول میں ، یہ چارجڈ پرجاتیوں جیسے CO₂⁺ اور O⁻ بنانے کے لئے آئنائز کیا جاسکتا ہے۔ یہ آئن ویفر سطح اور ہوا سے پیدا ہونے والے ذرات پر چارج کو بے اثر کرسکتے ہیں ، جس سے الیکٹرو اسٹاٹک کشش اور ESD واقعات کا خطرہ مزید کم ہوجاتا ہے۔

2. آلودگی کو کم کرنا اور ویفر سطح کی حفاظت کرنا

ویفر ڈائسنگ سلیکن کی دھول کی ایک بڑی مقدار پیدا کرتا ہے۔ یہ عمدہ ذرات آسانی سے چارج ہوجاتے ہیں اور سامان کی سطحوں پر عمل پیرا ہوتے ہیں ، جس سے ذرہ آلودگی ہوتی ہے۔ اگر ٹھنڈا کرنے والا پانی قدرے الکلائن ہے تو ، یہ دھات کے آئنوں (جیسے Fe ، Ni ، اور CR کو سٹینلیس سٹیل کے فلٹرز یا پائپنگ سے جاری کردہ) کو بھی فروغ دے سکتا ہے تاکہ دھات کے ہائیڈرو آکسائیڈ کی تشکیل کی تشکیل کی جاسکے۔ یہ پریپیٹس ویفر سطح پر یا ڈائسنگ اسٹریٹس کے اندر جمع کر سکتے ہیں ، جس سے چپ کے معیار کو بری طرح متاثر کیا جاسکتا ہے۔

کو ₂ کو متعارف کرانے کے بعد ، ایک طرف ، چارج غیر جانبدار ہونے سے دھول اور ویفر سطح کے مابین الیکٹرو اسٹاٹک کشش کو کمزور ہوجاتا ہے۔ دوسری طرف ، CO₂ گیس کا بہاؤ ڈائیکنگ زون سے دور ذرات کو منتشر کرنے میں مدد کرتا ہے ، جس سے ان کے اہم علاقوں میں دوبارہ آبادکاری کے امکانات کم ہوجاتے ہیں۔

تحلیل شدہ کو ₂ کے ذریعہ تشکیل دینے والا کمزور تیزابیت والا ماحول بھی دھات کے آئنوں کو ہائیڈرو آکسائیڈ پریپیٹیٹس میں تبدیل کرتا ہے ، دھاتوں کو تحلیل حالت میں رکھتا ہے تاکہ وہ پانی کے بہاؤ سے زیادہ آسانی سے دور ہوجاتے ہیں ، جس سے وافر اور آلات پر اوشیشوں کو کم کیا جاتا ہے۔

ایک ہی وقت میں ، CO₂ جڑ ہے۔ ڈائسنگ خطے میں ایک مخصوص حفاظتی ماحول تشکیل دے کر ، یہ سلیکن دھول اور آکسیجن کے مابین براہ راست رابطے کو کم کرسکتا ہے ، جس سے دھول آکسیکرن ، اجتماعی اور اس کے نتیجے میں سطحوں میں آسنجن کا خطرہ کم ہوجاتا ہے۔ اس سے صاف ستھرا ماحول اور مستحکم عمل کے حالات کو برقرار رکھنے میں مدد ملتی ہے۔

ویفر کاٹنے کے دوران کو ₂ کو ڈائسنگ پانی میں متعارف کرانا نہ صرف جامد اور ESD کے خطرے کو مؤثر طریقے سے کنٹرول کرتا ہے ، بلکہ دھول اور دھات کی آلودگی کو بھی نمایاں طور پر کم کرتا ہے ، جس سے یہ ڈائسنگ پیداوار اور چپ کی وشوسنییتا کو بہتر بنانے کا ایک اہم ذریعہ بنتا ہے۔