ہائی پیوریٹی کوارٹج ایچ رنگ

1.کلیدی خصوصیات اور فوائد

• SiO₂ ≥ 99.999% اور مضبوطی سے کنٹرول شدہ دھاتی نجاست کے ساتھ سیمی کنڈکٹر گریڈ ڈی ہائیڈروکسیلیٹڈ فیوزڈ کوارٹز

• 1100 ° C تک مستحکم مسلسل آپریشن، 1200 ° C کے قریب قلیل مدتی صلاحیت کے ساتھ

• فلورین اور کلورین پر مبنی اینچ کیمسٹری اور ہائی انرجی پلازما کی نمائش کے خلاف سخت مزاحمت

• کم تھرمل توسیع اور بار بار چیمبر کے درجہ حرارت کے چکر کے تحت اچھی تھرمل شاک کارکردگی

• چیمبر بیس پریشر اور پروسیس گیس کمپوزیشن کی حفاظت کے لیے کم ویکیوم آؤٹ گیسنگ

• مسلسل چیمبر فٹ اور پلازما باؤنڈری ڈیفینیشن کے لیے پالش رابطے کی سطحوں کے ساتھ مائکرون لیول کا جہتی کنٹرول

• قابل ترتیب ڈیزائن: فلیٹ رِنگز، سٹیپڈ اینچ رِنگز، لوکیٹنگ/ریٹیننگ رِنگز، اور بڑے اینچ ٹول پلیٹ فارمز کے لیے مکمل طور پر حسب ضرورت پروفائلز

2.عام ایپلی کیشنز

ہائی پیوریٹی کوارٹج ایچ رِنگس کو خشک پلازما ایچ پروسیس چیمبر میں استعمال کیا جاتا ہے:

• منطق اور میموری ڈیوائس پلازما ایچ کے اقدامات

• SiC اور GaN پاور ڈیوائس اینچ کے عمل

• ہائی اسپیکٹ ریشو ڈھانچہ ایچ

• آپٹیکل اور کمپاؤنڈ سیمی کنڈکٹر سبسٹریٹ پلازما پروسیسنگ

• اعلی درجے کی پیکیجنگ پلازما ایچ اور متعلقہ صفائی کے اقدامات

• RIE/ICP لیبارٹری اور پروڈکشن اینچ ٹولز

3.کلیدی تکنیکی پیرامیٹرز

• مواد: سیمی کنڈکٹر گریڈ ڈی ہائیڈرو آکسیلیٹڈ فیوزڈ کوارٹج، SiO₂ ≥ 99.999%

• ویفر مطابقت: 2/4/6/8/12 انچ سلکان، SiC، GaN، اور نیلم

• آپریٹنگ درجہ حرارت: −20 °C سے 1100 °C مسلسل؛ قلیل مدتی چوٹی تقریباً 1200 °C

• بنیادی افعال: پلازما کنارے کی قید، گیس کے بہاؤ کی رہنمائی، کنارے کی حفاظت، اور چیمبر کی تنہائی

• مشینی معیار: مائکرون سطح کی رواداری، پالش شدہ سطحیں، کنٹرول شدہ کنارے، اور صاف ختم

• ساخت کے اختیارات: فلیٹ رِنگ، سٹیپڈ اینچ رِنگ، لوکیٹنگ/ریٹیننگ انگوٹی، اور حسب ضرورت جیومیٹری

• حسب ضرورت: بیرونی/اندرونی قطر، موٹائی، قدم کی اونچائی، تلاش کرنے کی خصوصیات، چیمفرز، اور انٹرفیس کی تفصیلات فی ڈرائنگ

4.کیوں VeTek ہائی پیوریٹی کوارٹج Etch حلقے کا انتخاب کریں؟

VeTek سیمی کنڈکٹر اینچ اور تھرمل ٹولز کے لیے پراسیس-کریٹیکل کوارٹز ہارڈویئر فراہم کرتا ہے۔ اینچ رِنگز کے لیے، فوکس اس پر ہے:

• مادے کی پاکیزگی اور سطح کی صفائی اعلی درجے کی خشک اینچ والے ماحول کے لیے موزوں ہے۔

• جہتی درستگی جو مستحکم پلازما باؤنڈری کنٹرول اور دوبارہ قابل چیمبر فٹ کی حمایت کرتی ہے

• OEM طرز کی تبدیلی اور مکمل طور پر حسب ضرورت چیمبر انٹرفیس کے لیے ڈیزائن لچک

• ایک مکمل کوارٹج جزو رینج جس میں ویفر کیریئرز، فرنس ٹیوب، کشتیاں، اور متعلقہ عمل کے پرزے بھی شامل ہیں

اعلی پاکیزگی، پلازما کی پائیداری، اور سخت جیومیٹری کنٹرول کو ملا کر، VeTek ہائی پیوریٹی کوارٹز Etch Rings پورے ویفر ایچ کی یکسانیت کو بہتر بنانے، کنارے سے متعلق نقائص کو کم کرنے اور خشک پلازما ایچ ٹولز میں طویل، زیادہ مستحکم پروڈکشن سائیکل کو سپورٹ کرنے میں مدد کرتے ہیں۔