ریپڈ تھرمل اینیلنگ سسیپٹر

ویٹیک سیمیکمڈکٹر ریپڈ تھرمل اینیلنگ حساسپٹر اعلی معیار اور طویل زندگی کے ساتھ ہے ، ہمیں انکوائری کرنے میں خوش آمدید۔

ریپڈ تھرمل اینل (آر ٹی اے) سیمیکمڈکٹر ڈیوائس کی تانے بانے میں استعمال ہونے والی تیز رفتار تھرمل پروسیسنگ کا ایک اہم سب سیٹ ہے۔ اس میں مختلف ہدف والے گرمی کے علاج کے ذریعہ انفرادی ویفروں کی حرارت کو شامل کرنے کے لئے ان کی برقی خصوصیات میں ترمیم کرنا شامل ہے۔ آر ٹی اے عمل ڈوپینٹس کی چالو کرنے ، فلم سے فلموں میں ردوبدل یا فلمی طور پر فلم سے لے کر سبسٹریٹ انٹرفیس ، جمع شدہ فلموں میں کثافت ، بڑھتی ہوئی فلمی ریاستوں میں ترمیم ، آئن امپلانٹیشن نقصان کی مرمت ، ڈوپینٹ موومنٹ ، اور فلموں کے مابین ڈوپینٹس کو ڈرائیونگ کرنے کا اہل بناتا ہے۔ یا ویفر سبسٹریٹ میں۔

VeTek Semiconductor پروڈکٹ، Rapid Thermal Annealing Susceptor، RTP کے عمل میں اہم کردار ادا کرتا ہے۔ اس کی تعمیر اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ مواد کو استعمال کرتے ہوئے کی گئی ہے جس میں انریٹ سلکان کاربائیڈ (SiC) کی حفاظتی کوٹنگ ہے۔ SiC لیپت سلکان سبسٹریٹ 1100 ° C تک درجہ حرارت کو برداشت کر سکتا ہے، انتہائی حالات میں بھی قابل اعتماد کارکردگی کو یقینی بناتا ہے۔ SiC کوٹنگ گیس کے اخراج اور پارٹیکل شیڈنگ کے خلاف بہترین تحفظ فراہم کرتی ہے، جس سے مصنوعات کی لمبی عمر کو یقینی بنایا جاتا ہے۔

درست درجہ حرارت کنٹرول کو برقرار رکھنے کے لیے، چپ کو دو اعلیٰ پاکیزگی والے گریفائٹ اجزاء کے درمیان سمیٹا جاتا ہے جو SiC کے ساتھ لیپت ہوتے ہیں۔ درجہ حرارت کی درست پیمائش سبسٹریٹ کے ساتھ رابطے میں مربوط اعلی درجہ حرارت کے سینسر یا تھرموکوپل کے ذریعے حاصل کی جا سکتی ہے۔

CVD SiC کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات:

سیمیکمڈکٹر پروڈکشن شاپ کا موازنہ کریں ：

سیمی کنڈکٹر چپ ایپیٹیکسی انڈسٹری چین کا جائزہ: