SiC کوٹنگ ہاف مون گریفائٹ حصے

ایس آئی سی ایپیٹیکسیل گروتھ فرنس کے ری ایکشن چیمبر میں، ایس آئی سی کوٹنگ ہاف مون گریفائٹ پرزے گیس کے بہاؤ کی تقسیم، تھرمل فیلڈ کنٹرول، اور رد عمل کی فضا میں یکسانیت کو بہتر بنانے کے لیے کلیدی اجزاء ہیں۔ وہ عام طور پر SiC کوٹنگ سے بنے ہوتے ہیں۔گرافائٹ، آدھے چاند کی شکل میں ڈیزائن کیا گیا ہے ، جو رد عمل چیمبر کے اوپری اور نچلے گریفائٹ حصوں میں واقع ہے ، جس میں سبسٹریٹ ایریا کے آس پاس ہے۔

    •اوپری ہاف مون گریفائٹ حصہ: ری ایکشن چیمبر کے اوپری حصے میں نصب، گیس انلیٹ کے قریب، رد عمل کی گیس کو سبسٹریٹ کی سطح کی طرف بہنے کی رہنمائی کے لیے ذمہ دار ہے۔

    •نچلا آدھا مون گریفائٹ حصہ: رد عمل چیمبر کے نیچے واقع ، عام طور پر سبسٹریٹ ہولڈر کے نیچے ، گیس کے بہاؤ کی سمت کو کنٹرول کرنے اور سبسٹریٹ کے نیچے تھرمل فیلڈ اور گیس کی تقسیم کو بہتر بنانے کے لئے استعمال ہوتا ہے۔

کے دورانایس آئی سی ایپیٹیکسی عمل، اوپری آدھے مون گریفائٹ حصہ گیس کے بہاؤ کو سبسٹریٹ پر یکساں طور پر تقسیم کرنے میں مدد کرتا ہے ، جس سے گیس کو براہ راست سبسٹریٹ سطح پر اثر انداز ہونے سے روکتا ہے اور مقامی حد سے زیادہ گرمی یا ہوا کے بہاؤ کی ہنگامہ آرائی ہوتی ہے۔ نچلا آدھا مون گریفائٹ حصہ گیس کو آسانی سے سبسٹریٹ کے ذریعے بہنے کی اجازت دیتا ہے اور پھر اسے فارغ کردیا جاتا ہے ، جبکہ ہنگاموں کو ایپیٹیکسیل پرت کی نمو کو متاثر کرنے سے روکتا ہے۔

تھرمل فیلڈ ریگولیشن کے لحاظ سے ， ایس آئی سی کوٹنگ آدھے مون گریفائٹ حصوں کی شکل اور پوزیشن کے ذریعہ رد عمل چیمبر میں گرمی کو یکساں طور پر تقسیم کرنے میں مدد کرتی ہے۔ اوپری ہاف مون گریفائٹ حصہ ہیٹر کی تابناک گرمی کو مؤثر طریقے سے ظاہر کرسکتا ہے تاکہ یہ یقینی بنایا جاسکے کہ سبسٹریٹ کے اوپر درجہ حرارت مستحکم ہے۔ نچلے آدھے چاند کے گریفائٹ حصے کا بھی ایسا ہی کردار ہے ، جو درجہ حرارت کے ضرورت سے زیادہ اختلافات کو روکنے کے لئے گرمی کی ترسیل کے ذریعے سبسٹریٹ کے نیچے گرمی کو یکساں طور پر تقسیم کرنے میں مدد کرتا ہے۔

ایس آئی سی کی کوٹنگ اجزاء کو اعلی درجہ حرارت اور تھرمل طور پر کوند کرنے والے کے خلاف مزاحم بناتی ہے ، لہذا ویٹیک سیمیکمڈکٹر کے آدھے مون کے حصے طویل خدمت کی زندگی رکھتے ہیں۔ احتیاط سے ڈیزائن کیا گیا ، ایس آئی سی ایپیٹیکسی کے لئے ہمارے آدھے مون گریفائٹ حصوں کو بغیر کسی رکاوٹ کے بہت سے ایپیٹاکسیل ری ایکٹرز میں ضم کیا جاسکتا ہے ، جس سے سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل کی مجموعی کارکردگی اور وشوسنییتا کو بہتر بنانے میں مدد ملتی ہے۔ آپ کے sic کوٹنگ ہاف مون گریفائٹ حصوں کی ضرورت ہے ، براہ کرم وٹیک سیمیکمڈکٹر سے رابطہ کریں۔

Veteksemایس آئی سی کوٹنگ ہاف مون گریفائٹ پارٹس کی دکانوں: