سلیکن کاربائیڈ کوٹنگ

VeTek سے یہ AMAT 0200-03201 Wafer Lift Pin اعلی پیوریٹی گریفائٹ سے شروع ہوتا ہے، پھر ہم اوپر ایک گھنے CVD SiC کوٹنگ شامل کرتے ہیں۔ یہ 300mm ایپیٹیکسی سسٹمز اور اپلائیڈ میٹریل EPI ری ایکٹرز کے لیے بنایا گیا ہے۔ گریفائٹ اور SiC کیوں؟ گریفائٹ گرمی کو اچھی طرح سے ہینڈل کرتا ہے۔ SiC پرت سنکنرن گیسیں لیتی ہے اور تیزی سے ختم نہیں ہوتی۔ پتلی دیوار ڈیزائن؟ یہ کلینر ویفر لفٹنگ اور پوزیشننگ، کم ذرات، اور اعلی درجہ حرارت میں طویل حصے کی زندگی کے لیے ہے۔ ہم ASM، Aixtron، اور LPE سسٹمز کے لیے اسی طرح کے SiC کوٹڈ گریفائٹ حصے بھی بناتے ہیں۔ آپ کی انکوائری کے منتظر

ویٹیک سیمی کنڈکٹر VEECO MOCVD سسٹمز کے لیے ویفر کیرئیر بناتا ہے، خاص طور پر ایل ای ڈی ایپیٹیکسی کام جیسے GaN LEDs، نیلے سبز LEDs، اور گہری UV LED گروتھ کے لیے بنایا گیا ہے۔ یہ کیریئرز اعلی پاکیزگی والے گریفائٹ سے شروع ہوتے ہیں اور ایک گھنے CVD سلکان کاربائیڈ (SiC) کوٹنگ حاصل کرتے ہیں۔ یہ مرکب اعلی درجہ حرارت کے تحت آپ کو MOCVD میں نظر آتا ہے - اچھی تھرمل استحکام، سنکنرن مزاحمت، اور کوٹنگ دیر تک رہتی ہے۔

ہاف مون ایک گریفائٹ جزو ہے جو LPE SiC ری ایکٹرز کے اندر استعمال ہوتا ہے، جو بنیادی طور پر چیمبر ہاٹ زون کے ارد گرد نصب ہوتا ہے۔ اگرچہ یہ ویفر سے براہ راست رابطہ نہیں کرتا ہے، لیکن یہ اب بھی گیس کے بہاؤ کے استحکام اور ری ایکٹر کے آپریشن میں epitaxial نمو میں کردار ادا کرتا ہے۔ اعلی درجہ حرارت اور رد عمل کے عمل کے حالات کو سنبھالنے کے لیے، جزو عام طور پر CVD SiC کوٹنگ سے محفوظ ہوتا ہے، جبکہ TaC کوٹنگ کچھ ایپلی کیشنز کے لیے بھی دستیاب ہے۔ VETEK SiC ایپیٹیکسی سسٹمز کے لیے گریفائٹ فیلٹ موصلیت اور دیگر لیپت گریفائٹ حصے بھی فراہم کرتا ہے۔

8 انچ کی SiC ایپی ٹاپ رِنگ سیمی کنڈکٹر ری ایکٹرز کے لیے ہارڈ ویئر کا حصہ ہے۔ یہ Si/SiC epitaxy اور MOCVD/CVD سسٹمز کے اندر کام کرتا ہے۔ یہ انگوٹھی چیمبر کے اندر حرارت کو مستحکم کرتی ہے۔ یہ گیسوں کے بہاؤ کو بھی کنٹرول کرتا ہے۔ مواد اعلی طہارت سی وی ڈی سلکان کاربائیڈ ہے۔ اس میں گریفائٹ کے خارج ہونے والے مسائل نہیں ہیں۔ یہ پیداوار کے دوران ذرات کی آلودگی کو بھی کم کرتا ہے۔ ہم آپ کی پوچھ گچھ کا خیرمقدم کرتے ہیں۔

ویٹیک ایم او سی وی ڈی ایس آئی سی لیپت حساسین ایک صحت سے متعلق انجینئرڈ کیریئر حل ہے جو خاص طور پر ایل ای ڈی اور کمپاؤنڈ سیمیکمڈکٹر ایپیٹیکسیل نمو کے لئے تیار کیا گیا ہے۔ یہ پیچیدہ MOCVD ماحول میں غیر معمولی تھرمل یکسانیت اور کیمیائی جوڑ کو ظاہر کرتا ہے۔ ویٹیک کے سخت سی وی ڈی جمع کرنے کے عمل کا فائدہ اٹھاتے ہوئے ، ہم آپ کے سیمیکمڈکٹر پروڈکشن کے ہر بیچ کے لئے مستحکم اور قابل اعتماد کارکردگی کی یقین دہانی فراہم کرتے ہوئے ، بنیادی اجزاء کی خدمت کی زندگی کو بڑھانے اور بنیادی اجزاء کی خدمت کی زندگی کو بڑھانے کے لئے پرعزم ہیں۔

ویٹیکسیمن ٹھوس سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) فوکسنگ رنگ ایک اہم قابل استعمال جزو ہے جو جدید سیمیکمڈکٹر ایپیٹیکسی اور پلازما اینچنگ کے عمل میں استعمال ہوتا ہے ، جہاں پلازما کی تقسیم ، تھرمل یکسانیت ، اور ویفر ایج اثرات کا عین مطابق کنٹرول ضروری ہے۔ اعلی طہارت ٹھوس سلیکن کاربائڈ سے تیار کردہ ، یہ توجہ مرکوز رنگ غیر معمولی پلازما کٹاؤ کے خلاف مزاحمت ، اعلی درجہ حرارت استحکام ، اور کیمیائی جڑتا کی نمائش کرتا ہے ، جو جارحانہ عمل کے حالات کے تحت قابل اعتماد کارکردگی کو قابل بناتا ہے۔ ہم آپ کی انکوائری کے منتظر ہیں