سلیکن کاربائڈ کوٹنگ ویفر ہولڈر

سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) کوٹنگ ویفر ہولڈر سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کا ایک لازمی جزو ہے ، جو خاص طور پر الٹرا کلین ، اعلی درجہ حرارت کے عمل جیسے ایم او سی وی ڈی (دھاتی نامیاتی کیمیائی بخارات جمع) ، ایل پی سی وی ڈی ، پی ای سی وی ڈی ، اور تھرمل اینیلنگ کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہے۔ گھنے اور وردی کو مربوط کرکےسی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگایک مضبوط گریفائٹ یا سیرامک سبسٹریٹ پر ، یہ ویفر کیریئر سخت ماحول کے تحت مکینیکل استحکام اور کیمیائی دونوں کو یقینی بناتا ہے۔

ⅰ. سیمیکمڈکٹر پروسیسنگ میں بنیادی فنکشن

سیمیکمڈکٹر تانے بانے میں ، ویفر ہولڈرز کو یقینی بنانے میں ایک اہم کردار ادا کرتے ہیں کہ جمع یا تھرمل علاج کے دوران ویفرز کو محفوظ طریقے سے مدد ، یکساں طور پر گرم اور محفوظ کیا جاتا ہے۔ ایس آئی سی کوٹنگ بیس سبسٹریٹ اور عمل کے ماحول کے مابین ایک غیر فعال رکاوٹ فراہم کرتی ہے ، جس سے ذرہ آلودگی اور آؤٹ گیسنگ کو مؤثر طریقے سے کم کیا جاتا ہے ، جو اعلی آلہ کی پیداوار اور وشوسنییتا کے حصول کے لئے اہم ہیں۔

کلیدی درخواستوں میں شامل ہیں:

● ایپیٹیکسیئل گروتھ (ایس آئی سی ، گان ، گااس پرتیں)

ter تھرمل آکسیکرن اور بازی

● اعلی درجہ حرارت اینیلنگ (> 1200 ° C)

am ویکیوم اور پلازما کے عمل کے دوران منتقلی اور مدد

ⅱ. اعلی جسمانی خصوصیات

یہ پیرامیٹرز سخت عمل کے چکروں کے تحت بھی کارکردگی کے استحکام کو برقرار رکھنے کے لئے ویفر ہولڈر کی صلاحیت کا مظاہرہ کرتے ہیں ، جس سے یہ اگلی نسل کے آلے کی تیاری کے ل ideal مثالی ہے۔

ⅲ. پروسیس ورک فلو-مرحلہ وار درخواست کا منظر

چلیںmocvd epitaxyاستعمال کی وضاحت کرنے کے لئے ایک عام عمل کے منظر نامے کے طور پر:

1. ویفر پلیسمنٹ: سلیکن ، گان ، یا ایس آئی سی ویفر کو آہستہ سے ایس آئی سی لیپت ویفر حساسیت پر رکھا گیا ہے۔

2. چیمبر ہیٹنگ: چیمبر کو اعلی درجہ حرارت (~ 1000–1600 ° C) میں تیزی سے گرم کیا جاتا ہے۔ ایس آئی سی کوٹنگ موثر تھرمل ترسیل اور سطح کے استحکام کو یقینی بناتی ہے۔

3. پیشگی تعارف: دھات کے نامیاتی پیشگی چیمبر میں بہتے ہیں۔ ایس آئی سی کوٹنگ کیمیائی حملوں کی مزاحمت کرتی ہے اور سبسٹریٹ سے باہر جانے کو روکتی ہے۔

4. epitaxial پرت کی نمو: یکساں پرتیں آلودگی یا تھرمل ڈسٹو کے بغیر جمع کی جاتی ہیںرشن ، ہولڈر کی عمدہ چپٹا اور کیمیائی جڑنی کا شکریہ۔

5. ٹھنڈا اور نکالنے: پروسیسنگ کے بعد ، ہولڈر ذرہ بہانے کے بغیر محفوظ تھرمل منتقلی اور ویفر بازیافت کی اجازت دیتا ہے۔

جہتی استحکام ، کیمیائی پاکیزگی ، اور مکینیکل طاقت کو برقرار رکھتے ہوئے ، ایس آئی سی کوٹنگ ویفر حساسٹر عمل کی پیداوار کو نمایاں طور پر بہتر بناتا ہے اور ٹول ٹائم ٹائم کو کم کرتا ہے۔

سی وی ڈی ایس آئی سی فلم کرسٹل ڈھانچہ:

ویٹیکسیکن پروڈکٹ گودام: