سلیکن کاربائیڈ ایپیٹیکسی

اعلیٰ معیار کے سلکان کاربائیڈ ایپیٹیکسی کی تیاری کا انحصار جدید ٹیکنالوجی اور آلات اور آلات کے لوازمات پر ہے۔ اس وقت، سب سے زیادہ استعمال ہونے والا سلکان کاربائیڈ ایپیٹیکسی گروتھ طریقہ کیمیائی بخارات جمع (CVD) ہے۔ اس میں ایپیٹیکسیل فلم کی موٹائی اور ڈوپنگ ارتکاز، کم نقائص، اعتدال پسند ترقی کی شرح، خودکار عمل کنٹرول وغیرہ کے عین مطابق کنٹرول کے فوائد ہیں، اور یہ ایک قابل اعتماد ٹیکنالوجی ہے جو کامیابی سے تجارتی طور پر لاگو کی گئی ہے۔

سلکان کاربائیڈ CVD ایپیٹیکسی عام طور پر گرم دیوار یا گرم دیوار CVD آلات کو اپناتی ہے، جو کہ اعلی نمو کے درجہ حرارت کے حالات (1500 ~ 1700 ℃)، گرم دیوار یا گرم دیوار CVD کی ترقی کے سالوں کے بعد ایپیٹیکسی لیئر 4H کرسٹل لائن SiC کے تسلسل کو یقینی بناتا ہے۔ inlet ہوا کے بہاؤ کی سمت اور سبسٹریٹ کی سطح کے درمیان تعلق، رد عمل کے چیمبر کو افقی ساخت کے ری ایکٹر اور عمودی ساخت کے ری ایکٹر میں تقسیم کیا جا سکتا ہے۔

ایس آئی سی ایپیٹیکسیل فرنس کے معیار کے لیے تین اہم اشارے ہیں، پہلا ایپیٹیکسیل گروتھ پرفارمنس ہے، جس میں موٹائی کی یکسانیت، ڈوپنگ یکسانیت، خرابی کی شرح اور شرح نمو شامل ہے۔ دوسرا خود سامان کی درجہ حرارت کی کارکردگی ہے، بشمول حرارتی/کولنگ کی شرح، زیادہ سے زیادہ درجہ حرارت، درجہ حرارت کی یکسانیت؛ آخر میں، ایک یونٹ کی قیمت اور صلاحیت سمیت خود سامان کی لاگت کی کارکردگی۔

تین قسم کے سلکان کاربائڈ ایپیٹیکسیل ترقی فرنس اور بنیادی اشیاء اختلافات

ہاٹ وال ہوریزونٹل CVD (ایل پی ای کمپنی کا مخصوص ماڈل PE1O6)، وارم وال پلانیٹری CVD (عام ماڈل Aixtron G5WWC/G10) اور نیم گرم وال CVD (جس کی نمائندگی Nuflare کمپنی کے EPIREVOS6 کے ذریعے کی گئی ہے) مرکزی دھارے کے ایپیٹیکسیل آلات کے تکنیکی حل ہیں جو حقیقی معنوں میں استعمال کیے گئے ہیں۔ اس مرحلے پر تجارتی ایپلی کیشنز میں۔ تینوں تکنیکی آلات کی بھی اپنی خصوصیات ہیں اور انہیں طلب کے مطابق منتخب کیا جا سکتا ہے۔ ان کی ساخت مندرجہ ذیل کے طور پر دکھایا گیا ہے:

متعلقہ بنیادی اجزاء درج ذیل ہیں:

(a) گرم دیوار افقی قسم کا بنیادی حصہ- ہاف مون پارٹس پر مشتمل ہوتا ہے۔

بہاو کی موصلیت

مین موصلیت اوپری

اوپری نصف چاند

اپ اسٹریم موصلیت

منتقلی کا ٹکڑا 2

منتقلی کا ٹکڑا 1

بیرونی ہوا کی نوزل

ٹاپراڈ اسنارکل

بیرونی آرگن گیس نوزل

آرگن گیس نوزل

ویفر سپورٹ پلیٹ

سینٹرنگ پن

مرکزی محافظ

نیچے کی طرف بائیں حفاظتی کور

نیچے کی دائیں حفاظتی کور

اپ اسٹریم بائیں حفاظتی کور

اپ اسٹریم دائیں تحفظ کا احاطہ

سائیڈ دیوار

گریفائٹ کی انگوٹھی

حفاظتی احساس

سہارا محسوس ہوا۔

رابطہ بلاک

گیس آؤٹ لیٹ سلنڈر

(b)گرم دیوار سیاروں کی قسم

سی سی کوٹنگ پلینٹری ڈسک اور ٹی اے سی لیپت پلینٹری ڈسک

Nuflare (جاپان): یہ کمپنی دوہری چیمبر عمودی بھٹی پیش کرتی ہے جو پیداواری پیداوار میں اضافہ کرتی ہے۔ آلات میں 1000 انقلابات فی منٹ تک تیز رفتار گردش کی خصوصیات ہیں، جو کہ epitaxial یکسانیت کے لیے انتہائی فائدہ مند ہے۔ مزید برآں، اس کی ہوا کے بہاؤ کی سمت دیگر آلات سے مختلف ہے، عمودی طور پر نیچے کی طرف ہونے کی وجہ سے، اس طرح ذرات کی نسل کو کم سے کم کیا جاتا ہے اور ذرہ کی بوندوں کے ویفرز پر گرنے کے امکان کو کم کیا جاتا ہے۔ ہم اس آلات کے لیے بنیادی SiC کوٹڈ گریفائٹ اجزاء فراہم کرتے ہیں۔

SiC epitaxial آلات کے اجزاء کے سپلائر کے طور پر، VeTek Semiconductor صارفین کو SiC epitaxy کے کامیاب نفاذ میں معاونت کے لیے اعلیٰ معیار کے کوٹنگ اجزاء فراہم کرنے کے لیے پرعزم ہے۔

View as

سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ محافظ

ویٹیک سیمیکمڈکٹر کا سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ پروٹیکٹر استعمال کیا جاتا ہے ایل پی ای ایس آئی سی ایپیٹیکسی ، اصطلاح "ایل پی ای" عام طور پر کم پریشر کیمیکل بخارات جمع (ایل پی سی وی ڈی) میں کم پریشر ایپیٹیکسی (ایل پی ای) سے مراد ہے۔ سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ، ایل پی ای سنگل کرسٹل پتلی فلموں کو اگانے کے لئے ایک اہم عمل ٹکنالوجی ہے ، جو اکثر سلیکن ایپیٹیکسیل پرتوں یا دیگر سیمیکمڈکٹر ایپیٹیکسیل پرتوں کو اگانے کے لئے استعمال ہوتی ہے۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

sic لیپت پیڈسٹل

ویٹیک سیمی کنڈکٹر CVD SiC کوٹنگ، گریفائٹ اور سلکان کاربائیڈ مواد پر TaC کوٹنگ بنانے میں پیشہ ور ہے۔ ہم OEM اور ODM پروڈکٹس فراہم کرتے ہیں جیسے SiC Coated Pedestal، wafer carrier، wafer chok، wafer carrier ٹرے، Planetary disk وغیرہ۔ 1000 گریڈ کلین روم اور پیوریفیکیشن ڈیوائس کے ساتھ، ہم آپ کو 5ppm سے کم ناپاک مصنوعات فراہم کر سکتے ہیں۔ سماعت کے منتظر جلد ہی آپ سے.

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

SiC کوٹنگ انلیٹ رنگ

ویٹیک سیمی کنڈکٹر مخصوص ضروریات کے مطابق SiC کوٹنگ انلیٹ رنگ کے لیے مخصوص ڈیزائن تیار کرنے کے لیے کلائنٹس کے ساتھ مل کر کام کرتا ہے۔ یہ SiC کوٹنگ انلیٹ رنگ کو متنوع ایپلی کیشنز جیسے CVD SiC آلات اور سلیکن کاربائیڈ ایپیٹیکسی کے لیے احتیاط سے تیار کیا گیا ہے۔ تیار کردہ SiC کوٹنگ انلیٹ رنگ کے حل کے لیے، ذاتی مدد کے لیے Vetek Semiconductor تک پہنچنے میں ہچکچاہٹ محسوس نہ کریں۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

گرمی سے پہلے کی انگوٹھی

پری گرمی کی انگوٹھی سیمیکمڈکٹر ایپیٹیکسی کے عمل میں استعمال کی جاتی ہے تاکہ وہ پہلے سے گرم ہو اور ویفروں کے درجہ حرارت کو زیادہ مستحکم اور وردی بنائے ، جو ایپیٹیکسی پرتوں کی اعلی معیار کی نشوونما کے لئے بہت اہمیت کا حامل ہے۔ وٹیک سیمیکمڈکٹر اعلی درجہ حرارت پر نجاستوں کے اتار چڑھاؤ کو روکنے کے لئے اس پروڈکٹ کی پاکیزگی کو سختی سے کنٹرول کرتا ہے۔ ہمارے ساتھ مزید گفتگو کرنے کا امکان ہے۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

وافر لفٹ پن

VeTek Semiconductor چین میں EPI Wafer Lift Pin بنانے والا ایک سرکردہ اور اختراع کار ہے۔ ہم کئی سالوں سے گریفائٹ کی سطح پر SiC کوٹنگ میں مہارت حاصل کر رہے ہیں۔ ہم Epi عمل کے لیے EPI Wafer Lift Pin پیش کرتے ہیں۔ اعلی معیار اور مسابقتی قیمت کے ساتھ، ہم آپ کو چین میں ہماری فیکٹری کا دورہ کرنے کا خیر مقدم کرتے ہیں.

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

AIXTRON G5 MOCVD حساسین

آئکسٹرون جی 5 ایم او سی وی ڈی سسٹم میں گریفائٹ میٹریل ، سلیکن کاربائڈ لیپت گریفائٹ ، کوارٹج ، سخت محسوس شدہ مواد وغیرہ پر مشتمل ہے۔ ویٹیک سیمیکمڈکٹر اس سسٹم کے لئے اجزاء کا پورا سیٹ اپنی مرضی کے مطابق اور تیار کرسکتا ہے۔ ہم کئی سالوں سے سیمیکمڈکٹر گریفائٹ اور کوارٹج حصوں میں مہارت حاصل کر رہے ہیں۔ یہ ایکسٹٹرون جی 5 ایم او سی وی ڈی سوسیسٹرس کٹ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ کے لئے اس کے زیادہ سے زیادہ سائز ، مطابقت اور اعلی پیداوری کے ساتھ ایک ورسٹائل اور موثر حل ہے۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

چین میں ایک پیشہ ور سلیکن کاربائیڈ ایپیٹیکسی صنعت کار اور سپلائر کی حیثیت سے ، ہمارے پاس اپنی فیکٹری ہے۔ چاہے آپ کو اپنے خطے کی مخصوص ضروریات کو پورا کرنے کے لئے اپنی مرضی کے مطابق خدمات کی ضرورت ہو یا چین میں بنایا ہوا جدید اور پائیدار {77 خریدنا چاہتے ہو ، آپ ہمیں ایک پیغام چھوڑ سکتے ہیں۔