سنگل وافر ایپی گریفائٹ انڈرٹیکر

تفصیل ：

سنگل ویفر ایپی گریفائٹ حساسپٹر میں گریفائٹ ٹرے ، گریفائٹ رنگ اور دیگر لوازمات کا ایک سیٹ شامل ہے ، جس میں اعلی طہارت گریفائٹ سبسٹریٹ + وانپ ڈپوزیشن سلیکن کاربائڈ کوٹنگ جامع ڈھانچے کا استعمال کرتے ہوئے ، اعلی درجہ حرارت کی استحکام ، کیمیائی جڑتا اور تھرمل فیلڈ یکسانیت کو مدنظر رکھتے ہوئے۔ یہ بڑے پیمانے پر پیداوار میں اعلی صحت سے متعلق ایپیٹیکسیل شیٹ کا بنیادی اثر جزو ہے۔

مادی جدت: گریفائٹ +sic کوٹنگ

گرافائٹ

● الٹرا ہائی تھرمل چالکتا (> 130 ڈبلیو/ایم · K) ، درجہ حرارت پر قابو پانے کی ضروریات کا تیز ردعمل ، عمل کے استحکام کو یقینی بنانے کے لئے۔

ter کم تھرمل توسیع گتانک (سی ٹی ای: 4.6 × 10⁻⁶/° C) ، اعلی درجہ حرارت کی خرابی ، طویل خدمت کی زندگی کو کم کریں۔

سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ

● سنکنرن مزاحمت. H₂ ، HCl ، اور Sih₄ جیسے رد عمل گیسوں سے حملے کا مقابلہ کریں۔ یہ بیس مادے کو اتار چڑھاؤ کے ذریعہ ایپیٹیکسیل پرت کی آلودگی سے گریز کرتا ہے۔

● سطح کی کثافت: کوٹنگ پوروسٹی 0.1 ٪ سے کم ہے ، جو گریفائٹ اور ویفر کے مابین رابطے کو روکتا ہے اور کاربن کی نجاست کے بازی کو روکتا ہے۔

● اعلی درجہ حرارت رواداری: 1600 ° C سے اوپر کے ماحول میں طویل مدتی مستحکم کام ، sic epitaxy کی اعلی درجہ حرارت کی طلب کے مطابق ڈھال لیں۔

تھرمل فیلڈ اور ایئر فلو کی اصلاح کا ڈیزائن

یکساں تھرمل تابکاری کا ڈھانچہ

حساسپٹر کی سطح کو متعدد تھرمل عکاسی نالیوں کے ساتھ ڈیزائن کیا گیا ہے ، اور ASM ڈیوائس کا تھرمل فیلڈ کنٹرول سسٹم ± 1.5 ° C (6 انچ ویفر ، 8 انچ ویفر) کے اندر درجہ حرارت کی یکسانیت کو حاصل کرتا ہے ، جس سے مستقل مزاجی اور ایپیٹاسیل پرت کی موٹائی (اتار چڑھاو <3 ٪) کی یکسانیت کو یقینی بناتا ہے۔

ایئر اسٹیئرنگ تکنیک

ایج ڈائیورژن ہولز اور مائل سپورٹ کالم ویفر سطح پر رد عمل گیس کی لیمینر بہاؤ کی تقسیم کو بہتر بنانے ، ایڈی دھاروں کی وجہ سے جمع ہونے کی شرح میں فرق کو کم کرنے ، اور ڈوپنگ یکسانیت کو بہتر بنانے کے لئے ڈیزائن کیے گئے ہیں۔