ایل پی ای ری ایکشن چیمبر کے لیے ہاف مون

ایل پی ای ری ایکشن چیمبر میں ہاف مون کیا ہے؟

بہت سے ایل پی ای افقی ری ایکٹرز میں، ہاف مون اندرونی چیمبر اسمبلی کا حصہ ہے۔ مختلف سازوسامان بنانے والے تھوڑا سا مختلف ڈھانچے کا استعمال کر سکتے ہیں، لیکن فنکشن عام طور پر ایک جیسا ہوتا ہے۔ جزو عام طور پر اوپری اور نچلے حصوں میں الگ کیا جاتا ہے：

• بالائی نصف چاند:اوپری حصہ بنیادی طور پر ری ایکٹر کے اندر سپورٹ سٹرکچر کے طور پر کام کرتا ہے۔ چونکہ یہ طویل عرصے تک اعلی درجہ حرارت کے عمل کے زون کے قریب رہتا ہے، مواد کو بار بار تھرمل سائیکلوں کے بعد واضح اخترتی کے بغیر مستحکم رہنے کی ضرورت ہے۔ ایک اور اہم نکتہ کیمیائی استحکام ہے۔ SiC epitaxy کے دوران، چیمبر کے ماحول میں رد عمل والی گیسیں ہوتی ہیں، اس لیے گریفائٹ کی سطح کو مناسب طریقے سے محفوظ کیا جانا چاہیے۔
• لوئر ہاف مون:نچلا حصہ کوارٹج ٹیوب ایریا اور گھومنے والی اسمبلی کے قریب جڑا ہوا ہے۔ یہ epitaxial ترقی کے دوران گیس کے تعارف اور مکینیکل سپورٹ میں شامل ہے۔ عام گریفائٹ ساختی حصوں کے مقابلے میں، نچلے ہاف مون کو عام طور پر ری ایکٹر کے آپریشن کے دوران مسلسل حرارت اور ٹھنڈک کی وجہ سے آکسیڈیشن مزاحمت اور تھرمل جھٹکے کے استحکام کے لیے زیادہ ضروریات کا سامنا کرنا پڑتا ہے۔

LPE ری ایکشن چیمبر کے لیے VETEK Halfmoon کی اہم خصوصیات

1. ہائی پیوریٹی گریفائٹ سبسٹریٹ

بنیادی مواد اعلی طہارت گریفائٹ ہے جو سیمی کنڈکٹر عمل کے ماحول کے لیے موزوں ہے۔ ایس آئی سی ایپیٹیکسی میں مواد کی پاکیزگی اہم ہے کیونکہ دھاتی آلودگی کرسٹل کی ترقی کے استحکام اور فلم کے معیار کو متاثر کر سکتی ہے۔ VETEK اس ایپلی کیشن کے لیے پیوریفائیڈ گریفائٹ مواد کا استعمال کرتا ہے جس میں ناپاکی کی سطح کنٹرول ہوتی ہے۔

2. اعلی درجے کی CVD SiC اور TaC کوٹنگ

زیادہ تر ہاف مون اجزاء کو CVD SiC کے ساتھ لیپت کیا جاتا ہے تاکہ اعلی درجہ حرارت کے عمل کے حالات میں سطح کے تحفظ کو بہتر بنایا جا سکے۔ زیادہ مطالبہ کرنے والے ماحول کے لیے، TaC کوٹنگ بھی دستیاب ہے۔ لیپت ڈھانچے کے عام فوائد میں شامل ہیں:

• corrosive عمل گیسوں کے لئے بہتر مزاحمت
• کم ذرہ کی پیداوار
• بہتر سطح کی استحکام
• تھرمل سائیکلنگ کے دوران بہتر استحکام

عملی استعمال میں، کوٹنگ کا انتخاب عام طور پر ری ایکٹر کے درجہ حرارت، عمل کیمسٹری، اور متوقع سروس لائف ٹائم پر منحصر ہوتا ہے۔

3. بہترین تھرمل استحکام

اعلی درجہ حرارت والے سیمی کنڈکٹر پروسیسنگ ماحول کے لیے ڈیزائن کیا گیا، VETEK Halfmoon لمبے epitaxial سائیکلوں کے دوران جہتی استحکام اور ساختی سالمیت کو برقرار رکھتا ہے، جو اسے LPE اور MOCVD آلات کے لیے انتہائی موزوں بناتا ہے۔

4. صحت سے متعلق CNC مشینی

VETEK کے پاس مائکرون سطح کے جہتی کنٹرول کے ساتھ اعلی درجے کی CNC درستگی کی مشینی صلاحیتیں ہیں، جو پیچیدہ LPE ری ایکٹر کے ڈھانچے اور اپنی مرضی کے مطابق آلات کی ضروریات کے ساتھ بہترین مطابقت کو یقینی بناتی ہیں۔

5. طویل سروس کی زندگی

آپٹمائزڈ کوٹنگ اڈیشن ٹیکنالوجی اور ہائی پیوریٹی میٹریل پروسیسنگ کے ذریعے، VETEK Halfmoon اجزاء بار بار تھرمل سائیکلنگ اور سنکنرن عمل گیسوں کے تحت بہترین پائیداری کا مظاہرہ کرتے ہیں، دیکھ بھال کی فریکوئنسی اور کل آپریٹنگ اخراجات کو کم کرتے ہیں۔

تکنیکی فوائد

درخواستیں

LPE ری ایکشن چیمبر کے لیے VETEK Halfmoon بڑے پیمانے پر استعمال کیا جاتا ہے:

• سلیکن کاربائیڈ (SiC) ایپیٹیکسی سسٹم
• ایل پی ای افقی ری ایکٹر
• سیمی کنڈکٹر ایپیٹیکسیل نمو کا سامان
• اعلی درجہ حرارت CVD عمل کے چیمبرز
• اعلی درجے کی سیمی کنڈکٹر تھرمل فیلڈ سسٹم
• ایس سی کرسٹل گروتھ سسٹم
• تیسری نسل کے سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ

ہماری مصنوعات متعدد صنعت کے مرکزی دھارے کے سازوسامان کے پلیٹ فارم کے ساتھ مطابقت رکھتی ہیں اور کسٹمر ڈرائنگ یا ری ایکٹر کی وضاحتوں کے مطابق اپنی مرضی کے مطابق کی جا سکتی ہیں۔

کیوں VETEK سیمی کنڈکٹر کا انتخاب کریں؟

VETEK سیمی کنڈکٹر کئی سالوں سے سیمی کنڈکٹر گریفائٹ اجزاء اور کوٹنگ ٹیکنالوجیز پر توجہ مرکوز کر رہا ہے۔ 2016 سے، کمپنی نے سیمی کنڈکٹر ایپلی کیشنز کے لیے پیوریفیکیشن پروسیسنگ، درست گریفائٹ مشیننگ، اور CVD کوٹنگ کی تیاری میں اپنی صلاحیتوں کو فروغ دینا جاری رکھا ہوا ہے۔

VETEK صلاحیتیں:

• SiC epitaxy اجزاء اور ری ایکٹر کے پرزوں کے ساتھ تجربہ کریں۔
• اندرون ملک CVD SiC اور TaC کوٹنگ کی پیداوار
• سیمی کنڈکٹر سطح کے مواد صاف کرنے کا کنٹرول
• ڈرائنگ یا نمونوں کی بنیاد پر اپنی مرضی کے مطابق مینوفیکچرنگ
• بیچ کے احکامات کے لئے مستحکم پیداواری صلاحیت
• گریفائٹ فیلٹ اور تھرمل فیلڈ میٹریل کی فراہمی
• ISO9001 کوالٹی مینجمنٹ سسٹم
• بیرون ملک مقیم صارفین کے لئے تکنیکی مدد

اکثر پوچھے گئے سوالات

(1) ایل پی ای ری ایکٹر میں ہاف مون کا کام کیا ہے؟

ہاف مون جزو گیس کے بہاؤ کی رہنمائی، چیمبر کے ڈھانچے کے انضمام، درجہ حرارت کے انتظام، اور ایپیٹیکسیل ری ایکشن چیمبر کے اندر سسپٹر گردش کی حمایت کرتا ہے۔

(2) کیا ہاف مون کا ویفر کے ساتھ براہ راست رابطہ ہے؟

عام طور پر نہیں۔ زیادہ تر LPE ری ایکٹر ڈھانچے میں، ہاف مون براہ راست ویفر کو چھونے کے بجائے چیمبر اسمبلی کے آس پاس رہتا ہے۔

(3) سطح پر SiC یا TaC کوٹنگ کیوں استعمال کریں؟

کوٹنگ بنیادی طور پر تحفظ کے لیے ہے۔ SiC epitaxy کے دوران، گریفائٹ کے حصے طویل عرصے تک اعلی درجہ حرارت اور رد عمل والی گیسوں کے سامنے آتے ہیں۔ کوٹنگ آکسیکرن مزاحمت کو بہتر بنانے میں مدد کرتی ہے اور سطح کے لباس اور ذرات کی پیداوار کو کم کرتی ہے۔

(4) کیا حصہ اپنی مرضی کے مطابق کیا جا سکتا ہے؟

جی ہاں زیادہ تر ہاف مون پرزے دراصل ری ایکٹر کے ڈھانچے اور کسٹمر ڈرائنگ کے مطابق بنائے جاتے ہیں، کیونکہ طول و عرض اور تنصیب کی تفصیلات اکثر آلات کے پلیٹ فارمز کے درمیان مختلف ہوتی ہیں۔