ایل پی ای آدھا مون ایس ای سی ایپی ری ایکٹر

ایل پی ای آدھا مون ایس ای سی ایپی ری ایکٹرایک ایسا آلہ ہے جو خاص طور پر اعلی معیار کی تیاری کے لئے ڈیزائن کیا گیا ہےسلیکن کاربائڈ (sic) epitaxialپرتیں ، جہاں ایل پی ای آدھے چاند کے رد عمل چیمبر میں ایپیٹاکسیل عمل ہوتا ہے ، جہاں سبسٹریٹ کو انتہائی درجہ حرارت اور سنکنرن گیسوں جیسے انتہائی حالات کا سامنا کرنا پڑتا ہے۔ رد عمل چیمبر کے اجزاء کی خدمت زندگی اور کارکردگی کو یقینی بنانے کے لئے ، کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی)sic کوٹنگعام طور پر استعمال ہوتا ہے۔ 

ایل پی ای آدھا مون ایس ای سی ایپی ری ایکٹراجزاء:

مرکزی رد عمل چیمبر: مرکزی رد عمل کا چیمبر اعلی درجہ حرارت سے متعلق مزاحم مواد جیسے سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) سے بنا ہے اورگرافائٹ، جس میں انتہائی اعلی کیمیائی سنکنرن مزاحمت اور درجہ حرارت کی اعلی مزاحمت ہے۔ آپریٹنگ درجہ حرارت عام طور پر 1،400 ° C اور 1،600 ° C کے درمیان ہوتا ہے ، جو درجہ حرارت کے اعلی حالات میں سلکان کاربائڈ کرسٹل کی نمو کی حمایت کرسکتا ہے۔ مرکزی رد عمل چیمبر کا آپریٹنگ دباؤ 10 کے درمیان ہے^-3اور 10^-1ایم بی اے آر ، اور دباؤ کو ایڈجسٹ کرکے ایپیٹیکسیل نمو کی یکسانیت کو کنٹرول کیا جاسکتا ہے۔

حرارتی اجزاء: گریفائٹ یا سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) ہیٹر عام طور پر استعمال کیے جاتے ہیں ، جو درجہ حرارت کے اعلی حالات میں گرمی کا مستحکم ذریعہ فراہم کرسکتے ہیں۔

ایل پی ای ہافمون ایس آئی سی ای ای سی ری ایکٹر کا بنیادی کام یہ ہے کہ اعلی معیار کے سلیکن کاربائڈ فلموں کو ایپیٹیکسی طور پر بڑھانا ہے۔ خاص طور پر ،یہ مندرجہ ذیل پہلوؤں میں ظاہر ہے:

epitaxial پرت کی نمو: مائع مرحلے میں ایپیٹیکسی عمل کے ذریعے ، انتہائی کم کھردری ایپیٹیکسیل پرتوں کو ایس آئی سی سبسٹریٹس پر اگایا جاسکتا ہے ، جس کی شرح نمو تقریبا– 1–10μm/گھنٹہ ہے ، جو انتہائی اعلی کرسٹل معیار کو یقینی بنا سکتی ہے۔ ایک ہی وقت میں ، مرکزی رد عمل کے چیمبر میں گیس کے بہاؤ کی شرح کو عام طور پر 10–100 ایس سی سی ایم (معیاری مکعب سنٹی میٹر فی منٹ) پر کنٹرول کیا جاتا ہے تاکہ ایپیٹاکسیل پرت کی یکسانیت کو یقینی بنایا جاسکے۔

درجہ حرارت کا اعلی استحکام: ایس آئی سی ایپیٹیکسیل پرتیں اب بھی اعلی درجہ حرارت ، اعلی دباؤ اور اعلی تعدد ماحول کے تحت بہترین کارکردگی کو برقرار رکھ سکتی ہیں۔

عیب کثافت کو کم کریں: ایل پی ای آدھے مونون ایس آئی سی ای ای سی ری ایکٹر کا انوکھا ساختی ڈیزائن ایپیٹیکسی کے عمل کے دوران کرسٹل نقائص کی نسل کو مؤثر طریقے سے کم کرسکتا ہے ، اس طرح آلہ کی کارکردگی اور وشوسنییتا کو بہتر بناتا ہے۔

ویٹیک سیمیکمڈکٹر سیمیکمڈکٹر انڈسٹری کے لئے جدید ٹکنالوجی اور مصنوعات کے حل فراہم کرنے کے لئے پرعزم ہے۔ ایک ہی وقت میں ، ہم اپنی مرضی کے مطابق مصنوعات کی خدمات کی حمایت کرتے ہیں۔ہم مخلصانہ طور پر چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کی امید کرتے ہیں.

سی وی ڈی ایس آئی سی فلم کرسٹل ڈھانچے کا SEM ڈیٹا:

سی وی ڈی ایس آئی سی کوٹنگ کی بنیادی جسمانی خصوصیات：

ویٹیک سیمیکمڈکٹر ایل پی ای آدھ مون ایس ای سی ای ای ای ری ایکٹر پروڈکشن شاپس: