خبریں

سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ انڈسٹری میں ، جیسے ہی آلہ کا سائز سکڑ رہا ہے ، پتلی فلمی مواد کی جمع ٹیکنالوجی نے بے مثال چیلنجوں کا سامنا کیا ہے۔ ایٹم پرت جمع (ALD) ، ایک پتلی فلم جمع کرنے والی ٹکنالوجی کے طور پر جو جوہری سطح پر عین مطابق کنٹرول حاصل کرسکتی ہے ، سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کا ایک ناگزیر حصہ بن گیا ہے۔ اس مضمون کا مقصد ALD کے عمل کے بہاؤ اور اصولوں کو متعارف کرانا ہے تاکہ اعلی درجے کی چپ مینوفیکچرنگ میں اس کے اہم کردار کو سمجھنے میں مدد ملے۔

کامل کرسٹل لائن بیس پرت پر مربوط سرکٹس یا سیمی کنڈکٹر ڈیوائسز بنانا مثالی ہے۔ سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایپیٹیکسی (ایپی) عمل کا مقصد ایک باریک سنگل کرسٹل لائن پرت، عام طور پر تقریباً 0.5 سے 20 مائکرون، سنگل کرسٹل لائن سبسٹریٹ پر جمع کرنا ہے۔ ایپیٹیکسی عمل سیمی کنڈکٹر آلات کی تیاری میں ایک اہم قدم ہے، خاص طور پر سلکان ویفر مینوفیکچرنگ میں۔

ایپیٹیکسی اور ایٹم پرت جمع کرنے (ALD) کے درمیان بنیادی فرق ان کے فلمی نمو کے طریقہ کار اور آپریٹنگ حالات میں ہے۔ ایپیٹیکسی سے مراد ایک مخصوص واقفیت کے رشتے کے ساتھ کرسٹل لائن سبسٹریٹ پر کرسٹل لائن پتلی فلم اگانے کا عمل ہے ، اسی طرح یا اسی طرح کے کرسٹل ڈھانچے کو برقرار رکھنا۔ اس کے برعکس ، ALD ایک جمع کرنے کی تکنیک ہے جس میں ایک وقت میں ایک پتلی فلم کی ایک جوہری پرت کی تشکیل کے لئے ترتیب میں مختلف کیمیائی پیشگیوں کے ذیلی ذخیرے کو بے نقاب کرنا شامل ہے۔

CVD TAC کوٹنگ سبسٹریٹ (گریفائٹ) پر گھنی اور پائیدار کوٹنگ بنانے کا عمل ہے۔ اس طریقہ کار میں اعلی درجہ حرارت پر سبسٹریٹ کی سطح پر TaC جمع کرنا شامل ہے، جس کے نتیجے میں بہترین تھرمل استحکام اور کیمیائی مزاحمت کے ساتھ ٹینٹلم کاربائیڈ (TaC) کوٹنگ ہوتی ہے۔

جیسے جیسے 8 انچ سلکان کاربائیڈ (SiC) کا عمل پختہ ہو رہا ہے، مینوفیکچررز 6-انچ سے 8-انچ کی تبدیلی کو تیز کر رہے ہیں۔ حال ہی میں، ON Semiconductor اور Resonac نے 8 انچ کی SiC پروڈکشن پر اپ ڈیٹس کا اعلان کیا۔

اس مضمون میں اطالوی کمپنی ایل پی ای کے نئے ڈیزائن کردہ PE1O8 ہاٹ وال سی وی ڈی ری ایکٹر میں تازہ ترین پیشرفت اور 200 ملی میٹر ایس آئی سی پر یکساں 4H-SIC ایپیٹیکسی انجام دینے کی صلاحیت کا تعارف کیا گیا ہے۔