مصنوعات

ٹھوس سلیکن کاربائڈ

ویٹیک سیمیکمڈکٹر ٹھوس سلیکن کاربائڈ پلازما اینچنگ آلات ، ٹھوس سلیکن کاربائڈ (میں ایک اہم سیرامک ​​جزو ہے (سی وی ڈی سلیکن کاربائڈ) اینچنگ آلات کے حصوں میں شامل ہیںبجنے پر توجہ مرکوز کرنا، گیس شاور ہیڈ ، ٹرے ، کنارے کی انگوٹھی وغیرہ۔ کلورین - اور فلورین پر مشتمل اینچنگ گیسوں کے لئے ٹھوس سلیکن کاربائڈ (سی وی ڈی سلیکن کاربائڈ) کی کم رد عمل اور چالکتا کی وجہ سے ، یہ پلازما اینچنگ آلات کے لئے ایک مثالی مواد ہے جس میں انگوٹھوں اور دیگر اجزاء پر توجہ دی جاتی ہے۔


مثال کے طور پر ، فوکس کی انگوٹھی ایک اہم حصہ ہے جو ویفر کے باہر اور ویفر کے ساتھ براہ راست رابطے میں ہے ، رنگ میں وولٹیج لگاتے ہوئے ، رنگ میں گزرنے والے پلازما کو مرکوز کرنے کے لئے ، اس طرح پروسیسنگ کی یکسانیت کو بہتر بنانے کے لئے ویفر پر پلازما کو فوکس کرتا ہے۔ روایتی فوکس رنگ سلیکن سے بنی ہے یاکوارٹج، ایک مشترکہ فوکس رنگ مواد کے طور پر کنڈکٹو سلیکن ، یہ سلیکن ویفروں کی چالکتا کے قریب قریب ہے ، لیکن یہ قلت فلورین پر مشتمل پلازما میں ناقص اینچنگ مزاحمت ہے ، مشین کے پرزوں کے مواد کو اکثر وقتا فوقتا استعمال کیا جاتا ہے ، اس کی پیداوار کی کارکردگی کو سنجیدگی سے کم کیا جائے گا۔


Sاولڈ ایس آئی سی فوکس رنگکام کرنے کا اصول

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


ایس آئی پر مبنی فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی ایس آئی سی فوکسنگ رنگ : کا موازنہ

ایس آئی پر مبنی فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی ایس آئی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ
آئٹم اور CVD sic
کثافت (جی/سینٹی میٹر3) 2.33 3.21
بینڈ گیپ (ای وی) 1.12 2.3
تھرمل چالکتا (W/CM ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
لچکدار ماڈیولس (جی پی اے) 150 440
سختی (جی پی اے) 11.4 24.5
پہننے اور سنکنرن کے خلاف مزاحمت غریب عمدہ


ویٹیک سیمیکمڈکٹر جدید ترین ٹھوس سلیکن کاربائڈ (سی وی ڈی سلیکن کاربائڈ) کے حصے پیش کرتا ہے جیسے سیمیکمڈکٹر آلات کے لئے سی آئی سی فوکسنگ انگوٹھی۔ ہمارے ٹھوس سلیکن کاربائڈ پر توجہ مرکوز کرنے والی انگوٹھی میکانکی طاقت ، کیمیائی مزاحمت ، تھرمل چالکتا ، اعلی درجہ حرارت کی استحکام ، اور آئن اینچنگ مزاحمت کے لحاظ سے روایتی سلیکن کو بہتر بناتی ہے۔


ہمارے ایس آئی سی فوکسنگ رنگوں کی کلیدی خصوصیات میں شامل ہیں:

کم اینچنگ کی شرحوں کے ل high اعلی کثافت۔

ایک اعلی بینڈ گیپ کے ساتھ عمدہ موصلیت۔

اعلی تھرمل چالکتا اور تھرمل توسیع کا کم گتانک۔

اعلی مکینیکل اثر مزاحمت اور لچک۔

اعلی سختی ، لباس مزاحمت ، اور سنکنرن مزاحمت۔

استعمال کرتے ہوئے تیار کیاپلازما سے بہتر کیمیائی بخارات جمع (PECVD)تکنیکیں ، ہماری ایس آئی سی فوکسنگ حلقے سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں اینچنگ کے عمل کے بڑھتے ہوئے مطالبات کو پورا کرتے ہیں۔ وہ اعلی پلازما طاقت اور توانائی کا مقابلہ کرنے کے لئے ڈیزائن کیے گئے ہیں ، خاص طور پر میںگنجائش سے جوڑا پلازما (سی سی پی)سسٹم

ویٹیک سیمیکمڈکٹر کے ایس آئی سی فوکسنگ رنگز سیمیکمڈکٹر ڈیوائس مینوفیکچرنگ میں غیر معمولی کارکردگی اور وشوسنییتا فراہم کرتے ہیں۔ اعلی معیار اور کارکردگی کے ل our ہمارے ایس آئی سی اجزاء کا انتخاب کریں۔


View as  
 
سلیکن کاربائڈ شاور ہیڈ

سلیکن کاربائڈ شاور ہیڈ

سلیکن کاربائڈ شاور ہیڈ میں بہترین درجہ حرارت رواداری ، کیمیائی استحکام ، تھرمل چالکتا اور گیس کی اچھی تقسیم کی کارکردگی ہے ، جو گیس کی یکساں تقسیم کو حاصل کرسکتی ہے اور فلمی معیار کو بہتر بنا سکتی ہے۔ لہذا ، یہ عام طور پر اعلی درجہ حرارت کے عمل میں استعمال ہوتا ہے جیسے کیمیائی بخار جمع (سی وی ڈی) یا جسمانی بخار جمع (پی وی ڈی) کے عمل۔ ویٹیک سیمیکمڈکٹر ، ہمارے ساتھ اپنی مزید مشاورت کا خیرمقدم کریں۔
سلیکن کاربائڈ مہر کی انگوٹھی

سلیکن کاربائڈ مہر کی انگوٹھی

چین میں ایک پیشہ ور سلیکن کاربائڈ مہر رنگ پروڈکٹ مینوفیکچرر اور فیکٹری کی حیثیت سے ، ویٹیک سیمیکمڈکٹر سلیکن کاربائڈ مہر رنگ سیمیکمڈکٹر پروسیسنگ کے سازوسامان میں اس کی بہترین گرمی کی مزاحمت ، سنکنرن مزاحمت ، مکینیکل طاقت اور تھرمل چالکتا کی وجہ سے وسیع پیمانے پر استعمال ہوتا ہے۔ یہ خاص طور پر اعلی درجہ حرارت اور رد عمل والی گیسوں جیسے سی وی ڈی ، پی وی ڈی اور پلازما اینچنگ سے متعلق عمل کے ل suitable موزوں ہے ، اور سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ کے عمل میں ایک اہم مادی انتخاب ہے۔ آپ کی مزید انکوائریوں کا خیرمقدم ہے۔
ایس آئی سی کرسٹل نمو کے لئے سی وی ڈی ایس آئی سی بلاک

ایس آئی سی کرسٹل نمو کے لئے سی وی ڈی ایس آئی سی بلاک

ایس آئی سی کرسٹل نمو کے لئے سی وی ڈی ایس آئی سی بلاک ، ایک نیا اعلی طہارت خام مال ہے جو ویٹیک سیمیکمڈکٹر نے تیار کیا ہے۔ اس کا ایک اعلی ان پٹ آؤٹ پٹ تناسب ہے اور یہ اعلی معیار کے ، بڑے سائز کے سلیکن کاربائڈ سنگل کرسٹل میں اضافہ کرسکتا ہے ، جو آج مارکیٹ میں استعمال ہونے والے پاؤڈر کو تبدیل کرنے کے لئے دوسری نسل کا مواد ہے۔ تکنیکی امور پر تبادلہ خیال کرنے میں خوش آمدید۔
sic کرسٹل گروتھ نئی ٹکنالوجی

sic کرسٹل گروتھ نئی ٹکنالوجی

کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) کے ذریعہ تشکیل دیئے گئے ویٹیک سیمیکمڈکٹر کے الٹرا ہائی پیوریٹی سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) کو جسمانی بخارات کی نقل و حمل (پرائیوٹ) کے ذریعہ بڑھتی ہوئی سلیکن کاربائڈ کرسٹل کے لئے بطور ماخذ مواد کے طور پر استعمال کرنے کا مطالبہ کیا گیا ہے۔ ایس آئی سی کرسٹل گروتھ نئی ٹکنالوجی میں ، ماخذی مواد کو ایک صلیبی شکل میں لادا جاتا ہے اور بیج کے کرسٹل پر اس کی نشوونما ہوتی ہے۔ بڑھتی ہوئی ایس آئی سی کرسٹل کے ذریعہ ہونے کے لئے اعلی طہارت سی وی ڈی سیکک بلاکس کا استعمال کریں۔ ہمارے ساتھ شراکت قائم کرنے میں خوش آمدید۔
CVD sic شاور سر

CVD sic شاور سر

ویٹیک سیمیکمڈکٹر چین میں ایک معروف سی وی ڈی ایس آئی سی شاور ہیڈ تیار کنندہ اور جدت پسند ہے۔ ہم کئی سالوں سے ایس آئی سی مادے میں مہارت حاصل کر رہے ہیں۔ سی وی ڈی ایس آئی سی شاور ہیڈ کو اس کی عمدہ تھرمو کیمیکل استحکام ، اعلی مکینیکل طاقت اور پلازما کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کی وجہ سے رنگین مواد کے طور پر منتخب کیا گیا ہے۔ ہم چین میں آپ کا طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔
sic شاور سر

sic شاور سر

ویٹیک سیمیکمڈکٹر چین میں ایک معروف ایس آئی سی شاور ہیڈ تیار کرنے والا اور جدت پسند ہے۔ ہم کئی سالوں سے ایس آئی سی مادے میں مہارت حاصل کر رہے ہیں۔ سکور شاور ہیڈ کو اس کی عمدہ تھرمو کیمیکل استحکام ، اعلی مکینیکل طاقت اور پلازما کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کی وجہ سے رنگین مواد کے طور پر منتخب کیا گیا ہے۔ ہم چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


چین میں ایک پیشہ ور ٹھوس سلیکن کاربائڈ صنعت کار اور سپلائر کی حیثیت سے ، ہمارے پاس اپنی فیکٹری ہے۔ چاہے آپ کو اپنے خطے کی مخصوص ضروریات کو پورا کرنے کے لئے اپنی مرضی کے مطابق خدمات کی ضرورت ہو یا چین میں بنایا ہوا جدید اور پائیدار {77 خریدنا چاہتے ہو ، آپ ہمیں ایک پیغام چھوڑ سکتے ہیں۔
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept