ٹھوس سلیکن کاربائیڈ

VeTek سیمی کنڈکٹر سالڈ سلکان کاربائیڈ پلازما اینچنگ کے سامان میں ایک اہم سیرامک جزو ہے، ٹھوس سلکان کاربائیڈ(سی وی ڈی سلکان کاربائیڈ) اینچنگ کے سامان میں حصے شامل ہیں۔توجہ مرکوز کرنے والے حلقے، گیس شاور ہیڈ، ٹرے، کنارے کے حلقے وغیرہ۔ ٹھوس سلکان کاربائیڈ (CVD سلکان کاربائیڈ) کی کلورین اور فلورین پر مشتمل اینچنگ گیسوں کی کم رد عمل اور چالکتا کی وجہ سے، یہ پلازما اینچنگ کے آلات کے لیے ایک مثالی مواد ہے جو انگوٹھیوں پر توجہ مرکوز کرتا ہے۔ اجزاء

مثال کے طور پر، فوکس رِنگ ایک اہم حصہ ہے جو ویفر کے باہر رکھا جاتا ہے اور ویفر کے ساتھ براہِ راست رابطے میں، انگوٹی میں وولٹیج لگا کر انگوٹھی سے گزرنے والے پلازما کو فوکس کرتا ہے، اس طرح پلازما کو ویفر پر فوکس کرتا ہے تاکہ یکسانیت کو بہتر بنایا جا سکے۔ پروسیسنگ روایتی توجہ کی انگوٹی سلکان یا سے بنی ہے۔کوارٹج، conductive سلکان ایک عام توجہ کی انگوٹی مواد کے طور پر، یہ تقریبا سلکان wafers کی چالکتا کے قریب ہے، لیکن کمی فلورین پر مشتمل پلازما میں غریب اینچنگ مزاحمت ہے، اینچنگ مشین حصوں کے مواد کو اکثر وقت کی مدت کے لئے استعمال کیا جاتا ہے، وہاں سنگین ہو جائے گا. سنکنرن رجحان، سنجیدگی سے اس کی پیداوار کی کارکردگی کو کم کرنے.

Solid SiC فوکس رنگکام کرنے کا اصول：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

سی بیسڈ فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی سی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ:

سی بیسڈ فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی سی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ
آئٹم	اور	CVD SiC
کثافت (g/cm³)	2.33	3.21
بینڈ گیپ (eV)	1.12	2.3
تھرمل چالکتا (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
لچکدار ماڈیولس (GPa)	150	440
سختی (GPa)	11.4	24.5
پہننے اور سنکنرن کے خلاف مزاحمت	غریب	بہترین

VeTek Semiconductor سیمی کنڈکٹر کے آلات کے لیے SIC فوکسنگ رِنگز جیسے ایڈوانس ٹھوس سلکان کاربائیڈ (CVD سلکان کاربائیڈ) حصے پیش کرتا ہے۔ ہمارے ٹھوس سلکان کاربائیڈ فوکسنگ رِنگز روایتی سلکان کو مکینیکل طاقت، کیمیائی مزاحمت، تھرمل چالکتا، اعلی درجہ حرارت کی پائیداری، اور آئن اینچنگ مزاحمت کے لحاظ سے بہتر کارکردگی کا مظاہرہ کرتے ہیں۔

ہمارے SiC فوکسنگ رِنگز کی اہم خصوصیات میں شامل ہیں۔:

اینچنگ کی کم شرحوں کے لیے اعلی کثافت۔

اعلی بینڈ گیپ کے ساتھ بہترین موصلیت۔

اعلی تھرمل چالکتا اور تھرمل توسیع کا کم گتانک۔

اعلی مکینیکل اثر مزاحمت اور لچک۔

اعلی سختی، لباس مزاحمت، اور سنکنرن مزاحمت.

کا استعمال کرتے ہوئے تیار کیا گیا ہے۔پلازما بڑھا ہوا کیمیائی بخارات جمع (PECVD)تکنیک، ہماری SiC فوکسنگ رِنگز سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایچنگ کے عمل کی بڑھتی ہوئی مانگ کو پورا کرتی ہیں۔ وہ اعلی پلازما طاقت اور توانائی کو برداشت کرنے کے لیے ڈیزائن کیے گئے ہیں، خاص طور پرcapacitively کپلڈ پلازما (CCP)نظام

VeTek Semiconductor کے SiC فوکسنگ رِنگز سیمی کنڈکٹر ڈیوائس مینوفیکچرنگ میں غیر معمولی کارکردگی اور قابل اعتمادی فراہم کرتے ہیں۔ اعلیٰ معیار اور کارکردگی کے لیے ہمارے SiC اجزاء کا انتخاب کریں۔

View as

ایس آئی سی کرسٹل نمو کے لئے سی وی ڈی ایس آئی سی بلاک

ایس آئی سی کرسٹل نمو کے لئے سی وی ڈی ایس آئی سی بلاک ، ایک نیا اعلی طہارت خام مال ہے جو ویٹیک سیمیکمڈکٹر نے تیار کیا ہے۔ اس کا ایک اعلی ان پٹ آؤٹ پٹ تناسب ہے اور یہ اعلی معیار کے ، بڑے سائز کے سلیکن کاربائڈ سنگل کرسٹل میں اضافہ کرسکتا ہے ، جو آج مارکیٹ میں استعمال ہونے والے پاؤڈر کو تبدیل کرنے کے لئے دوسری نسل کا مواد ہے۔ تکنیکی امور پر تبادلہ خیال کرنے میں خوش آمدید۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

sic کرسٹل گروتھ نئی ٹکنالوجی

کیمیائی بخارات جمع (سی وی ڈی) کے ذریعہ تشکیل دیئے گئے ویٹیک سیمیکمڈکٹر کے الٹرا ہائی پیوریٹی سلیکن کاربائڈ (ایس آئی سی) کو جسمانی بخارات کی نقل و حمل (پرائیوٹ) کے ذریعہ بڑھتی ہوئی سلیکن کاربائڈ کرسٹل کے لئے بطور ماخذ مواد کے طور پر استعمال کرنے کا مطالبہ کیا گیا ہے۔ ایس آئی سی کرسٹل گروتھ نئی ٹکنالوجی میں ، ماخذی مواد کو ایک صلیبی شکل میں لادا جاتا ہے اور بیج کے کرسٹل پر اس کی نشوونما ہوتی ہے۔ بڑھتی ہوئی ایس آئی سی کرسٹل کے ذریعہ ہونے کے لئے اعلی طہارت سی وی ڈی سیکک بلاکس کا استعمال کریں۔ ہمارے ساتھ شراکت قائم کرنے میں خوش آمدید۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

CVD sic شاور سر

ویٹیک سیمیکمڈکٹر چین میں ایک معروف سی وی ڈی ایس آئی سی شاور ہیڈ تیار کنندہ اور جدت پسند ہے۔ ہم کئی سالوں سے ایس آئی سی مادے میں مہارت حاصل کر رہے ہیں۔ سی وی ڈی ایس آئی سی شاور ہیڈ کو اس کی عمدہ تھرمو کیمیکل استحکام ، اعلی مکینیکل طاقت اور پلازما کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کی وجہ سے رنگین مواد کے طور پر منتخب کیا گیا ہے۔ ہم چین میں آپ کا طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

sic شاور سر

ویٹیک سیمیکمڈکٹر چین میں ایک معروف ایس آئی سی شاور ہیڈ تیار کرنے والا اور جدت پسند ہے۔ ہم کئی سالوں سے ایس آئی سی مادے میں مہارت حاصل کر رہے ہیں۔ سکور شاور ہیڈ کو اس کی عمدہ تھرمو کیمیکل استحکام ، اعلی مکینیکل طاقت اور پلازما کٹاؤ کے خلاف مزاحمت کی وجہ سے رنگین مواد کے طور پر منتخب کیا گیا ہے۔ ہم چین میں آپ کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

ٹھوس sic گیس شاور سر

ٹھوس ایس آئی سی گیس شاور ہیڈ سی وی ڈی کے عمل میں گیس کی وردی بنانے میں ایک اہم کردار ادا کرتا ہے ، اس طرح سبسٹریٹ کی یکساں حرارتی نظام کو یقینی بناتا ہے۔ ویٹیک سیمیکمڈکٹر کئی سالوں سے ٹھوس ایس آئی سی ڈیوائسز کے میدان میں دل کی گہرائیوں سے شامل ہے اور وہ صارفین کو اپنی مرضی کے مطابق ٹھوس ایس آئی سی گیس شاور ہیڈ فراہم کرنے کے قابل ہے۔ اس سے کوئی فرق نہیں پڑتا ہے کہ آپ کی ضروریات کیا ہیں ، ہم آپ کی انکوائری کے منتظر ہیں۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

کیمیائی بخارات جمع کرنے کا عمل ٹھوس SIC کنارے کی انگوٹھی

ویٹیک سیمیکمڈکٹر ہمیشہ جدید سیمیکمڈکٹر مواد کی تحقیق اور ترقی اور تیاری کے لئے پرعزم رہا ہے۔ آج ، وٹیک سیمیکمڈکٹر نے کیمیائی بخارات جمع کرنے کے عمل میں ٹھوس ایس آئی سی ایج رنگ کی مصنوعات میں بہت ترقی کی ہے اور وہ صارفین کو انتہائی حسب ضرورت ٹھوس ایس آئی سی ایج کی انگوٹھی فراہم کرنے کے قابل ہے۔ جب الیکٹروسٹاٹک چک کے ساتھ استعمال ہوتا ہے تو ٹھوس ایس آئی سی ایج کی انگوٹھی بہتر طور پر یکسانیت اور عین مطابق ویفر پوزیشننگ مہیا کرتی ہے ، جس سے مستقل اور قابل اعتماد اینچنگ نتائج کو یقینی بنایا جاتا ہے۔ آپ کی انکوائری کے منتظر اور ایک دوسرے کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

چین میں ایک پیشہ ور ٹھوس سلیکن کاربائیڈ صنعت کار اور سپلائر کی حیثیت سے ، ہمارے پاس اپنی فیکٹری ہے۔ چاہے آپ کو اپنے خطے کی مخصوص ضروریات کو پورا کرنے کے لئے اپنی مرضی کے مطابق خدمات کی ضرورت ہو یا چین میں بنایا ہوا جدید اور پائیدار {77 خریدنا چاہتے ہو ، آپ ہمیں ایک پیغام چھوڑ سکتے ہیں۔