ٹھوس سلیکن کاربائیڈ

VeTek سیمی کنڈکٹر سالڈ سلکان کاربائیڈ پلازما اینچنگ کے سامان میں ایک اہم سیرامک جزو ہے، ٹھوس سلکان کاربائیڈ(سی وی ڈی سلکان کاربائیڈ) اینچنگ کے سامان میں حصے شامل ہیں۔توجہ مرکوز کرنے والے حلقے، گیس شاور ہیڈ، ٹرے، کنارے کے حلقے وغیرہ۔ ٹھوس سلکان کاربائیڈ (CVD سلکان کاربائیڈ) کی کلورین اور فلورین پر مشتمل اینچنگ گیسوں کی کم رد عمل اور چالکتا کی وجہ سے، یہ پلازما اینچنگ کے آلات کے لیے ایک مثالی مواد ہے جو انگوٹھیوں پر توجہ مرکوز کرتا ہے۔ اجزاء

مثال کے طور پر، فوکس رِنگ ایک اہم حصہ ہے جو ویفر کے باہر رکھا جاتا ہے اور ویفر کے ساتھ براہِ راست رابطے میں، انگوٹی میں وولٹیج لگا کر انگوٹھی سے گزرنے والے پلازما کو فوکس کرتا ہے، اس طرح پلازما کو ویفر پر فوکس کرتا ہے تاکہ یکسانیت کو بہتر بنایا جا سکے۔ پروسیسنگ روایتی توجہ کی انگوٹی سلکان یا سے بنی ہے۔کوارٹج، conductive سلکان ایک عام توجہ کی انگوٹی مواد کے طور پر، یہ تقریبا سلکان wafers کی چالکتا کے قریب ہے، لیکن کمی فلورین پر مشتمل پلازما میں غریب اینچنگ مزاحمت ہے، اینچنگ مشین حصوں کے مواد کو اکثر وقت کی مدت کے لئے استعمال کیا جاتا ہے، وہاں سنگین ہو جائے گا. سنکنرن رجحان، سنجیدگی سے اس کی پیداوار کی کارکردگی کو کم کرنے.

Solid SiC فوکس رنگکام کرنے کا اصول：

Working Principle of Solid SiC Focus Ring

سی بیسڈ فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی سی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ:

سی بیسڈ فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی سی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ
آئٹم	اور	CVD SiC
کثافت (g/cm³)	2.33	3.21
بینڈ گیپ (eV)	1.12	2.3
تھرمل چالکتا (W/cm℃)	1.5	5
CTE (x10^-6/℃)	2.6	4
لچکدار ماڈیولس (GPa)	150	440
سختی (GPa)	11.4	24.5
پہننے اور سنکنرن کے خلاف مزاحمت	غریب	بہترین

VeTek Semiconductor سیمی کنڈکٹر کے آلات کے لیے SIC فوکسنگ رِنگز جیسے ایڈوانس ٹھوس سلکان کاربائیڈ (CVD سلکان کاربائیڈ) حصے پیش کرتا ہے۔ ہمارے ٹھوس سلکان کاربائیڈ فوکسنگ رِنگز روایتی سلکان کو مکینیکل طاقت، کیمیائی مزاحمت، تھرمل چالکتا، اعلی درجہ حرارت کی پائیداری، اور آئن اینچنگ مزاحمت کے لحاظ سے بہتر کارکردگی کا مظاہرہ کرتے ہیں۔

ہمارے SiC فوکسنگ رِنگز کی اہم خصوصیات میں شامل ہیں۔:

اینچنگ کی کم شرحوں کے لیے اعلی کثافت۔

اعلی بینڈ گیپ کے ساتھ بہترین موصلیت۔

اعلی تھرمل چالکتا اور تھرمل توسیع کا کم گتانک۔

اعلی مکینیکل اثر مزاحمت اور لچک۔

اعلی سختی، لباس مزاحمت، اور سنکنرن مزاحمت.

کا استعمال کرتے ہوئے تیار کیا گیا ہے۔پلازما بڑھا ہوا کیمیائی بخارات جمع (PECVD)تکنیک، ہماری SiC فوکسنگ رِنگز سیمی کنڈکٹر مینوفیکچرنگ میں ایچنگ کے عمل کی بڑھتی ہوئی مانگ کو پورا کرتی ہیں۔ وہ اعلی پلازما طاقت اور توانائی کو برداشت کرنے کے لیے ڈیزائن کیے گئے ہیں، خاص طور پرcapacitively کپلڈ پلازما (CCP)نظام

VeTek Semiconductor کے SiC فوکسنگ رِنگز سیمی کنڈکٹر ڈیوائس مینوفیکچرنگ میں غیر معمولی کارکردگی اور قابل اعتمادی فراہم کرتے ہیں۔ اعلیٰ معیار اور کارکردگی کے لیے ہمارے SiC اجزاء کا انتخاب کریں۔

View as

ٹھوس سی سی اینچنگ فوکسنگ رنگ

ٹھوس ایس آئی سی اینچنگ فوکسنگ رنگ ویفر اینچنگ عمل کے بنیادی اجزاء میں سے ایک ہے ، جو ویفر کو ٹھیک کرنے ، پلازما کو فوکس کرنے اور ویفر اینچنگ یکسانیت کو بہتر بنانے میں اپنا کردار ادا کرتا ہے۔ چین میں رنگین بنانے والے معروف ایس آئی سی کے طور پر ، ویٹیک سیمیکمڈکٹر میں جدید ٹکنالوجی اور پختہ عمل ہے ، اور ٹھوس ایس آئی سی اینچنگ فوکسنگ رنگ تیار کرتا ہے جو صارفین کی ضروریات کے مطابق اختتامی صارفین کی ضروریات کو پوری طرح پورا کرتا ہے۔ ہم آپ کی انکوائری اور ایک دوسرے کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔

مزید دیکھیں >> انکوائری بھیجیں۔ >>

چین میں ایک پیشہ ور ٹھوس سلیکن کاربائیڈ صنعت کار اور سپلائر کی حیثیت سے ، ہمارے پاس اپنی فیکٹری ہے۔ چاہے آپ کو اپنے خطے کی مخصوص ضروریات کو پورا کرنے کے لئے اپنی مرضی کے مطابق خدمات کی ضرورت ہو یا چین میں بنایا ہوا جدید اور پائیدار {77 خریدنا چاہتے ہو ، آپ ہمیں ایک پیغام چھوڑ سکتے ہیں۔