مصنوعات

ٹھوس سلیکن کاربائڈ

ویٹیک سیمیکمڈکٹر ٹھوس سلیکن کاربائڈ پلازما اینچنگ آلات ، ٹھوس سلیکن کاربائڈ (میں ایک اہم سیرامک ​​جزو ہے (سی وی ڈی سلیکن کاربائڈ) اینچنگ آلات کے حصوں میں شامل ہیںبجنے پر توجہ مرکوز کرنا، گیس شاور ہیڈ ، ٹرے ، کنارے کی انگوٹھی وغیرہ۔ کلورین - اور فلورین پر مشتمل اینچنگ گیسوں کے لئے ٹھوس سلیکن کاربائڈ (سی وی ڈی سلیکن کاربائڈ) کی کم رد عمل اور چالکتا کی وجہ سے ، یہ پلازما اینچنگ آلات کے لئے ایک مثالی مواد ہے جس میں انگوٹھوں اور دیگر اجزاء پر توجہ دی جاتی ہے۔


مثال کے طور پر ، فوکس کی انگوٹھی ایک اہم حصہ ہے جو ویفر کے باہر اور ویفر کے ساتھ براہ راست رابطے میں ہے ، رنگ میں وولٹیج لگاتے ہوئے ، رنگ میں گزرنے والے پلازما کو مرکوز کرنے کے لئے ، اس طرح پروسیسنگ کی یکسانیت کو بہتر بنانے کے لئے ویفر پر پلازما کو فوکس کرتا ہے۔ روایتی فوکس رنگ سلیکن سے بنی ہے یاکوارٹج، ایک مشترکہ فوکس رنگ مواد کے طور پر کنڈکٹو سلیکن ، یہ سلیکن ویفروں کی چالکتا کے قریب قریب ہے ، لیکن یہ قلت فلورین پر مشتمل پلازما میں ناقص اینچنگ مزاحمت ہے ، مشین کے پرزوں کے مواد کو اکثر وقتا فوقتا استعمال کیا جاتا ہے ، اس کی پیداوار کی کارکردگی کو سنجیدگی سے کم کیا جائے گا۔


Sاولڈ ایس آئی سی فوکس رنگکام کرنے کا اصول

Working Principle of Solid SiC Focus Ring


ایس آئی پر مبنی فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی ایس آئی سی فوکسنگ رنگ : کا موازنہ

ایس آئی پر مبنی فوکسنگ رنگ اور سی وی ڈی ایس آئی سی فوکسنگ رنگ کا موازنہ
آئٹم اور CVD sic
کثافت (جی/سینٹی میٹر3) 2.33 3.21
بینڈ گیپ (ای وی) 1.12 2.3
تھرمل چالکتا (W/CM ℃) 1.5 5
CTE (x10-6/℃) 2.6 4
لچکدار ماڈیولس (جی پی اے) 150 440
سختی (جی پی اے) 11.4 24.5
پہننے اور سنکنرن کے خلاف مزاحمت غریب عمدہ


ویٹیک سیمیکمڈکٹر جدید ترین ٹھوس سلیکن کاربائڈ (سی وی ڈی سلیکن کاربائڈ) کے حصے پیش کرتا ہے جیسے سیمیکمڈکٹر آلات کے لئے سی آئی سی فوکسنگ انگوٹھی۔ ہمارے ٹھوس سلیکن کاربائڈ پر توجہ مرکوز کرنے والی انگوٹھی میکانکی طاقت ، کیمیائی مزاحمت ، تھرمل چالکتا ، اعلی درجہ حرارت کی استحکام ، اور آئن اینچنگ مزاحمت کے لحاظ سے روایتی سلیکن کو بہتر بناتی ہے۔


ہمارے ایس آئی سی فوکسنگ رنگوں کی کلیدی خصوصیات میں شامل ہیں:

کم اینچنگ کی شرحوں کے ل high اعلی کثافت۔

ایک اعلی بینڈ گیپ کے ساتھ عمدہ موصلیت۔

اعلی تھرمل چالکتا اور تھرمل توسیع کا کم گتانک۔

اعلی مکینیکل اثر مزاحمت اور لچک۔

اعلی سختی ، لباس مزاحمت ، اور سنکنرن مزاحمت۔

استعمال کرتے ہوئے تیار کیاپلازما سے بہتر کیمیائی بخارات جمع (PECVD)تکنیکیں ، ہماری ایس آئی سی فوکسنگ حلقے سیمیکمڈکٹر مینوفیکچرنگ میں اینچنگ کے عمل کے بڑھتے ہوئے مطالبات کو پورا کرتے ہیں۔ وہ اعلی پلازما طاقت اور توانائی کا مقابلہ کرنے کے لئے ڈیزائن کیے گئے ہیں ، خاص طور پر میںگنجائش سے جوڑا پلازما (سی سی پی)سسٹم

ویٹیک سیمیکمڈکٹر کے ایس آئی سی فوکسنگ رنگز سیمیکمڈکٹر ڈیوائس مینوفیکچرنگ میں غیر معمولی کارکردگی اور وشوسنییتا فراہم کرتے ہیں۔ اعلی معیار اور کارکردگی کے ل our ہمارے ایس آئی سی اجزاء کا انتخاب کریں۔


View as  
 
ٹھوس sic گیس شاور سر

ٹھوس sic گیس شاور سر

ٹھوس ایس آئی سی گیس شاور ہیڈ سی وی ڈی کے عمل میں گیس کی وردی بنانے میں ایک اہم کردار ادا کرتا ہے ، اس طرح سبسٹریٹ کی یکساں حرارتی نظام کو یقینی بناتا ہے۔ ویٹیک سیمیکمڈکٹر کئی سالوں سے ٹھوس ایس آئی سی ڈیوائسز کے میدان میں دل کی گہرائیوں سے شامل ہے اور وہ صارفین کو اپنی مرضی کے مطابق ٹھوس ایس آئی سی گیس شاور ہیڈ فراہم کرنے کے قابل ہے۔ اس سے کوئی فرق نہیں پڑتا ہے کہ آپ کی ضروریات کیا ہیں ، ہم آپ کی انکوائری کے منتظر ہیں۔
کیمیائی بخارات جمع کرنے کا عمل ٹھوس SIC کنارے کی انگوٹھی

کیمیائی بخارات جمع کرنے کا عمل ٹھوس SIC کنارے کی انگوٹھی

ویٹیک سیمیکمڈکٹر ہمیشہ جدید سیمیکمڈکٹر مواد کی تحقیق اور ترقی اور تیاری کے لئے پرعزم رہا ہے۔ آج ، وٹیک سیمیکمڈکٹر نے کیمیائی بخارات جمع کرنے کے عمل میں ٹھوس ایس آئی سی ایج رنگ کی مصنوعات میں بہت ترقی کی ہے اور وہ صارفین کو انتہائی حسب ضرورت ٹھوس ایس آئی سی ایج کی انگوٹھی فراہم کرنے کے قابل ہے۔ جب الیکٹروسٹاٹک چک کے ساتھ استعمال ہوتا ہے تو ٹھوس ایس آئی سی ایج کی انگوٹھی بہتر طور پر یکسانیت اور عین مطابق ویفر پوزیشننگ مہیا کرتی ہے ، جس سے مستقل اور قابل اعتماد اینچنگ نتائج کو یقینی بنایا جاتا ہے۔ آپ کی انکوائری کے منتظر اور ایک دوسرے کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔
ٹھوس سی سی اینچنگ فوکسنگ رنگ

ٹھوس سی سی اینچنگ فوکسنگ رنگ

ٹھوس ایس آئی سی اینچنگ فوکسنگ رنگ ویفر اینچنگ عمل کے بنیادی اجزاء میں سے ایک ہے ، جو ویفر کو ٹھیک کرنے ، پلازما کو فوکس کرنے اور ویفر اینچنگ یکسانیت کو بہتر بنانے میں اپنا کردار ادا کرتا ہے۔ چین میں رنگین بنانے والے معروف ایس آئی سی کے طور پر ، ویٹیک سیمیکمڈکٹر میں جدید ٹکنالوجی اور پختہ عمل ہے ، اور ٹھوس ایس آئی سی اینچنگ فوکسنگ رنگ تیار کرتا ہے جو صارفین کی ضروریات کے مطابق اختتامی صارفین کی ضروریات کو پوری طرح پورا کرتا ہے۔ ہم آپ کی انکوائری اور ایک دوسرے کے طویل مدتی شراکت دار بننے کے منتظر ہیں۔

Veteksemicon solid silicon carbide is the ideal procurement material for high-temperature, high-strength, and corrosion-resistant components used in semiconductor and industrial applications. As a fully dense, monolithic ceramic, solid silicon carbide (SiC) offers unmatched mechanical rigidity, extreme thermal conductivity, and exceptional chemical durability in harsh processing environments. Veteksemicon’s solid SiC is specifically developed for critical structural applications such as SiC wafer carriers, cantilever paddles, susceptors, and showerheads in semiconductor equipment.


Manufactured through pressureless sintering or reaction bonding, our solid silicon carbide parts exhibit excellent wear resistance and thermal shock performance, even at temperatures above 1600°C. These properties make solid SiC the preferred material for CVD/PECVD systems, diffusion furnaces, and oxidation furnaces, where long-term thermal stability and purity are essential.


Veteksemicon also offers custom-machined SiC parts, enabling tight dimensional tolerances, high surface quality, and application-specific geometries. Additionally, solid SiC is non-reactive in both oxidizing and reducing atmospheres, enhancing its suitability for plasma, vacuum, and corrosive gas environments.


To explore our full range of solid silicon carbide components and discuss your project specifications, please visit the Veteksemicon product detail page or contact us for technical support and quotations.


چین میں ایک پیشہ ور ٹھوس سلیکن کاربائڈ صنعت کار اور سپلائر کی حیثیت سے ، ہمارے پاس اپنی فیکٹری ہے۔ چاہے آپ کو اپنے خطے کی مخصوص ضروریات کو پورا کرنے کے لئے اپنی مرضی کے مطابق خدمات کی ضرورت ہو یا چین میں بنایا ہوا جدید اور پائیدار {77 خریدنا چاہتے ہو ، آپ ہمیں ایک پیغام چھوڑ سکتے ہیں۔
X
We use cookies to offer you a better browsing experience, analyze site traffic and personalize content. By using this site, you agree to our use of cookies. Privacy Policy
Reject Accept